碳化硅衬底

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202011131017.2

申请日：

2015-08-31

公开(公告)号：

CN112531019A

公开(公告)日：

2021-03-19

发明(设计)人：

冲田恭子

申请人：

申请人地址：

日本大阪府大阪市

IPC主分类号：

H01L2916

IPC分类号：

H01L2167 H01L21306 H01L21304 H01L2102 C30B3310 C30B3300 C30B2936 B24B3704

代理机构：

中原信达知识产权代理有限责任公司 11219

代理人：

韩峰;孙志湧

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-04-06	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 29/16 申请日:20150831
2021-03-19	公开	公开

共 50 条

[1]

碳化硅衬底 [P].

冲田恭子 .

日本专利 :CN112531019B ,2024-10-11

[2]

碳化硅衬底和碳化硅衬底的制造方法 [P].

冲田恭子 ;

本家翼 ;

上田俊策 .

中国专利 :CN114651091A ,2022-06-21

[3]

碳化硅衬底和碳化硅衬底的制造方法 [P].

冲田恭子 ;

本家翼 ;

上田俊策 .

日本专利 :CN114651091B ,2024-04-19

[4]

碳化硅衬底和碳化硅外延衬底 [P].

本家翼 ;

冲田恭子 .

中国专利 :CN110651072A ,2020-01-03

[5]

碳化硅衬底 [P].

本家翼 ;

冲田恭子 .

日本专利 :CN113825863B ,2024-03-22

[6]

碳化硅衬底 [P].

佐佐木信 ;

原田真 ;

冲田恭子 ;

宫崎富仁 .

中国专利 :CN102471929A ,2012-05-23

[7]

碳化硅衬底 [P].

西口太郎 ;

佐佐木信 ;

原田真 ;

冲田恭子 ;

井上博挥 ;

藤原伸介 ;

并川靖生 .

中国专利 :CN102334176A ,2012-01-25

[8]

碳化硅衬底 [P].

堀勉 ;

原田真 ;

西口太郎 ;

佐佐木信 ;

井上博挥 ;

藤原伸介 .

中国专利 :CN102869816A ,2013-01-09

[9]

碳化硅衬底 [P].

井上博挥 ;

原田真 ;

佐佐木信 ;

西口太郎 ;

冲田恭子 ;

并川靖生 .

中国专利 :CN102741973A ,2012-10-17

[10]

碳化硅衬底 [P].

冲田恭子 ;

本家翼 .

中国专利 :CN113811643A ,2021-12-17

← 1 2 3 4 5 →