一种批量高温退火碳化硅晶体装置

被引：0

申请号：

CN202222270784.2

申请日：

2022-08-24

公开(公告)号：

CN217997414U

公开(公告)日：

2022-12-09

发明(设计)人：

朱如忠皮孝东王蓉张玺张序清杨德仁

申请人：

申请人地址：

310000 浙江省杭州市市心北路99号5楼

IPC主分类号：

C30B3302

IPC分类号：

代理机构：

杭州五洲普华专利代理事务所(特殊普通合伙) 33260

代理人：

姚宇吉

法律状态：

授权

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-12-09	授权	授权

共 50 条

[1]

一种碳化硅晶体高温退火处理方法 [P].

张政 ;

孟大磊 ;

徐永宽 ;

徐所成 .

中国专利 :CN104357913A ,2015-02-18

[2]

一种碳化硅晶体高温退火处理方法 [P].

赵丽霞 .

中国专利 :CN109440191A ,2019-03-08

[3]

碳化硅高温退火设备 [P].

鲁永 ;

郑建生 ;

吴明森 .

中国专利 :CN217922437U ,2022-11-29

[4]

碳化硅晶体退火坩埚及退火装置 [P].

李坚 ;

潘尧波 ;

马远 ;

关承浩 ;

周玉洁 .

中国专利 :CN212925229U ,2021-04-09

[5]

碳化硅晶体退火坩埚及退火装置 [P].

肖体康 ;

周玉洁 ;

潘尧波 ;

马远 ;

方秀亮 .

中国专利 :CN213172687U ,2021-05-11

[6]

一种降低碳化硅晶体应力的退火装置 [P].

李天运 ;

邱艳丽 .

中国专利 :CN221721005U ,2024-09-17

[7]

一种碳化硅单晶高温退火的装置 [P].

毛开礼 ;

魏汝省 ;

赵丽霞 ;

戴鑫 ;

李天 ;

范云 ;

王晨豪 ;

李斌 ;

靳霄曦 .

中国专利 :CN214327973U ,2021-10-01

[8]

一种碳化硅晶体退火炉 [P].

李成明 ;

李同权 ;

唐光武 .

中国专利 :CN221681263U ,2024-09-10

[9]

一种碳化硅晶体退火工艺 [P].

王波 ;

陈小龙 ;

李龙远 ;

刘春俊 ;

彭同华 ;

王刚 .

中国专利 :CN102534805A ,2012-07-04

[10]

一种用于碳化硅晶体的退火载具 [P].

李天运 ;

邱艳丽 .

中国专利 :CN221701711U ,2024-09-13

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