基于二维理想旁瓣卷积窗FFT的增强莫尔条纹光刻对准方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202410403647.2

申请日：

2024-04-03

公开(公告)号：

CN118226718A

公开(公告)日：

2024-06-21

发明(设计)人：

夏豪杰许非凡方青林丁垠冶陈文浩

申请人：

合肥工业大学

申请人地址：

230009 安徽省合肥市包河区屯溪路193号

IPC主分类号：

G03F9/00

IPC分类号：

G06F17/14 G06F17/15

代理机构：

安徽省合肥新安专利代理有限责任公司 34101

代理人：

陆丽莉;何梅生

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

安徽省合肥市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-07-09	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G03F 9/00申请日:20240403
2024-06-21	公开	公开

共 50 条

[1]

基于二维Hanning自卷积窗频谱泄露抑制的加权的条纹图相位提取方法 [P].

夏豪杰 ;

许非凡 ;

陈心语 ;

朱梓旭 ;

丁垠冶 ;

陈文浩 .

中国专利 :CN117218087B ,2025-11-11

[2]

一种基于双频莫尔条纹查表的大范围光刻对准方法 [P].

夏豪杰 ;

许非凡 ;

余鑫 ;

方青林 ;

朱梓旭 .

中国专利 :CN118732426A ,2024-10-01

[3]

一种基于双频莫尔条纹的光刻对准方法 [P].

王楠 ;

丁振洋 ;

李奕 .

中国专利 :CN117666300A ,2024-03-08

[4]

基于拼接光栅莫尔条纹相位解调的纳米光刻对准方法 [P].

程依光 ;

朱江平 ;

胡松 ;

赵立新 ;

陈磊 ;

刘俊伯 .

中国专利 :CN103838093B ,2014-06-04

[5]

一种基于莫尔条纹的反射式光刻对准装置 [P].

朱江平 ;

胡松 ;

唐燕 ;

刘旗 ;

何渝 ;

邸成良 .

中国专利 :CN102789137A ,2012-11-21

[6]

一种基于相移莫尔条纹的数字无掩模光刻对准装置 [P].

朱江平 ;

胡松 ;

唐燕 ;

陈铭勇 ;

唐路路 ;

何渝 .

中国专利 :CN102566340B ,2012-07-11

[7]

基于2D-Hamming自卷积窗的高精度条纹相位提取方法 [P].

夏豪杰 ;

许非凡 ;

邹信征 ;

方青林 ;

朱梓旭 ;

焦明杰 .

中国专利 :CN119251203A ,2025-01-03

[8]

一种基于级联莫尔效应的光刻对准方法 [P].

王楠 ;

唐白洋 ;

丁振洋 .

中国专利 :CN119739014A ,2025-04-01

[9]

一种空间复用的二维莫尔条纹直线光栅尺 [P].

周伶姝 .

中国专利 :CN115507753B ,2025-05-02

[10]

一种基于暗场莫尔条纹的对准检测与控制的超分辨光刻装置 [P].

罗先刚 ;

刘明刚 ;

蒲明博 ;

马晓亮 ;

高平 ;

李雄 .

中国专利 :CN111352318A ,2020-06-30

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