一种基于莫尔条纹的反射式光刻对准装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210245688.0

申请日：

2012-07-16

公开(公告)号：

CN102789137A

公开(公告)日：

2012-11-21

发明(设计)人：

朱江平胡松唐燕刘旗何渝邸成良

申请人：

申请人地址：

610209 四川省成都市双流350信箱

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

G03F900

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司 11021

代理人：

梁爱荣

法律状态：

发明专利申请公布后的视为撤回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-10-22	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101706490800 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2012102456880 申请公布日:20121121
2012-11-21	公开	公开
2013-01-16	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101378922976 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2012102456880 申请日:20120716

共 50 条

[1]

一种基于相移莫尔条纹的数字无掩模光刻对准装置 [P].

朱江平 ;

胡松 ;

唐燕 ;

陈铭勇 ;

唐路路 ;

何渝 .

中国专利 :CN102566340B ,2012-07-11

[2]

用于光刻设备的莫尔条纹的对准装置 [P].

杜聚有 ;

王向朝 .

中国专利 :CN105070201A ,2015-11-18

[3]

一种基于双频莫尔条纹的光刻对准方法 [P].

王楠 ;

丁振洋 ;

李奕 .

中国专利 :CN117666300A ,2024-03-08

[4]

基于拼接光栅莫尔条纹相位解调的纳米光刻对准方法 [P].

程依光 ;

朱江平 ;

胡松 ;

赵立新 ;

陈磊 ;

刘俊伯 .

中国专利 :CN103838093B ,2014-06-04

[5]

一种投影光刻莫尔对准装置及方法 [P].

李天 ;

周绍林 ;

陈志坚 ;

李斌 .

中国专利 :CN115561979B ,2025-08-05

[6]

一种投影光刻莫尔对准装置及方法 [P].

李天 ;

周绍林 ;

陈志坚 ;

李斌 .

中国专利 :CN115561979A ,2023-01-03

[7]

一种基于双频莫尔条纹查表的大范围光刻对准方法 [P].

夏豪杰 ;

许非凡 ;

余鑫 ;

方青林 ;

朱梓旭 .

中国专利 :CN118732426A ,2024-10-01

[8]

一种基于暗场莫尔条纹的对准检测与控制的超分辨光刻装置 [P].

罗先刚 ;

刘明刚 ;

蒲明博 ;

马晓亮 ;

高平 ;

李雄 .

中国专利 :CN111352318A ,2020-06-30

[9]

一种基于莫尔条纹放大的高精度对准装置 [P].

贺军崴 ;

解金彪 ;

吴家润 ;

徐贵力 ;

程月华 .

中国专利 :CN116893585B ,2024-04-02

[10]

一种基于级联莫尔效应的光刻对准方法 [P].

王楠 ;

唐白洋 ;

丁振洋 .

中国专利 :CN119739014A ,2025-04-01

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