用于光刻设备的莫尔条纹的对准装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510428736.3

申请日：

2015-07-20

公开(公告)号：

CN105070201A

公开(公告)日：

2015-11-18

发明(设计)人：

杜聚有王向朝

申请人：

申请人地址：

201800 上海市嘉定区上海市800－211邮政信箱

IPC主分类号：

G09F900

IPC分类号：

代理机构：

上海新天专利代理有限公司 31213

代理人：

张泽纯;张宁展

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-12-05	授权	授权
2015-11-18	公开	公开
2015-12-16	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101637743730 IPC(主分类):G09F 9/00 专利申请号:2015104287363 申请日:20150720
2019-10-25	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):G03F 9/00 登记生效日:20190930 变更事项:专利权人变更前权利人:中国科学院上海光学精密机械研究所变更后权利人:北京国望光学科技有限公司变更事项:地址变更前权利人:201800 上海市嘉定区上海市800－211邮政信箱变更后权利人:100176 北京市大兴区北京经济技术开发区景园北街2号52幢6层601-10室

共 50 条

[1]

一种基于莫尔条纹的反射式光刻对准装置 [P].

朱江平 ;

胡松 ;

唐燕 ;

刘旗 ;

何渝 ;

邸成良 .

中国专利 :CN102789137A ,2012-11-21

[2]

一种基于相移莫尔条纹的数字无掩模光刻对准装置 [P].

朱江平 ;

胡松 ;

唐燕 ;

陈铭勇 ;

唐路路 ;

何渝 .

中国专利 :CN102566340B ,2012-07-11

[3]

一种基于双频莫尔条纹的光刻对准方法 [P].

王楠 ;

丁振洋 ;

李奕 .

中国专利 :CN117666300A ,2024-03-08

[4]

用于光刻设备的预对准装置 [P].

胡松立 ;

姜杰 .

中国专利 :CN102914951B ,2013-02-06

[5]

基于拼接光栅莫尔条纹相位解调的纳米光刻对准方法 [P].

程依光 ;

朱江平 ;

胡松 ;

赵立新 ;

陈磊 ;

刘俊伯 .

中国专利 :CN103838093B ,2014-06-04

[6]

一种基于暗场莫尔条纹的对准检测与控制的超分辨光刻装置 [P].

罗先刚 ;

刘明刚 ;

蒲明博 ;

马晓亮 ;

高平 ;

李雄 .

中国专利 :CN111352318A ,2020-06-30

[7]

用于光刻设备的预对准装置及方法 [P].

蓝科 ;

杜聚有 ;

徐荣伟 .

中国专利 :CN102981380A ,2013-03-20

[8]

一种用于光刻设备的对准装置和对准方法 [P].

杜聚有 ;

朱婧怡 ;

徐荣伟 .

中国专利 :CN102890433B ,2013-01-23

[9]

用于光刻设备的对准装置及方法 [P].

徐兵 ;

陈跃飞 ;

贾翔 ;

杨晓青 .

中国专利 :CN102540782A ,2012-07-04

[10]

基于二维理想旁瓣卷积窗FFT的增强莫尔条纹光刻对准方法 [P].

夏豪杰 ;

许非凡 ;

方青林 ;

丁垠冶 ;

陈文浩 .

中国专利 :CN118226718A ,2024-06-21

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