一种投影光刻莫尔对准装置及方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202211207341.7

申请日：

2022-09-30

公开(公告)号：

CN115561979B

公开(公告)日：

2025-08-05

发明(设计)人：

李天周绍林陈志坚李斌

申请人：

华南理工大学

申请人地址：

510641 广东省广州市天河区五山路381号

IPC主分类号：

G03F9/00

IPC分类号：

代理机构：

广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205

代理人：

郑宏谋

法律状态：

授权

国省代码：

广东省广州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-08-05	授权	授权

共 50 条

[1]

一种投影光刻莫尔对准装置及方法 [P].

李天 ;

周绍林 ;

陈志坚 ;

李斌 .

中国专利 :CN115561979A ,2023-01-03

[2]

一种基于莫尔条纹的反射式光刻对准装置 [P].

朱江平 ;

胡松 ;

唐燕 ;

刘旗 ;

何渝 ;

邸成良 .

中国专利 :CN102789137A ,2012-11-21

[3]

用于光刻设备的莫尔条纹的对准装置 [P].

杜聚有 ;

王向朝 .

中国专利 :CN105070201A ,2015-11-18

[4]

一种基于双频莫尔条纹的光刻对准方法 [P].

王楠 ;

丁振洋 ;

李奕 .

中国专利 :CN117666300A ,2024-03-08

[5]

一种基于级联莫尔效应的光刻对准方法 [P].

王楠 ;

唐白洋 ;

丁振洋 .

中国专利 :CN119739014A ,2025-04-01

[6]

一种基于相移莫尔条纹的数字无掩模光刻对准装置 [P].

朱江平 ;

胡松 ;

唐燕 ;

陈铭勇 ;

唐路路 ;

何渝 .

中国专利 :CN102566340B ,2012-07-11

[7]

投影光刻机的离轴对准装置及对准调节方法 [P].

周钰颖 ;

陆海亮 ;

王帆 .

中国专利 :CN104898376A ,2015-09-09

[8]

一种对准装置、对准方法及光刻系统 [P].

孙建超 .

中国专利 :CN114253093A ,2022-03-29

[9]

一种大数值孔径光刻投影物镜波像差拼接缝合装置及方法 [P].

李天 ;

全海洋 ;

刘俊伯 ;

朱咸昌 ;

王建 ;

胡松 .

中国专利 :CN115657424A ,2023-01-31

[10]

光刻预对准装置及预对准方法、光刻设备 [P].

王刚 ;

黄栋梁 ;

杨思雨 ;

付红艳 .

中国专利 :CN111198483B ,2020-05-26

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