碳化硅晶锭拆取装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202420393817.9

申请日：

2024-02-29

公开(公告)号：

CN221760040U

公开(公告)日：

2024-09-24

发明(设计)人：

胡方宇

申请人：

江苏集芯先进材料有限公司

申请人地址：

221000 江苏省徐州市徐州高新技术产业开发区电子信息产业园二期二号厂房

IPC主分类号：

C30B35/00

IPC分类号：

C30B29/36

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法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-09-24	授权	授权

共 50 条

[1]

碳化硅晶锭处理装置 [P].

乔帅帅 ;

胡方宇 ;

朱耿直 .

中国专利 :CN118147739A ,2024-06-07

[2]

碳化硅晶锭、碳化硅晶片、碳化硅晶锭及碳化硅晶片的制造方法 [P].

堂本千秋 ;

正木克明 ;

柴田和也 ;

山口恵彥 ;

上山大辅 .

中国专利 :CN105940149A ,2016-09-14

[3]

碳化硅晶锭清洗装置 [P].

芮岩涛 ;

翟虎 ;

林宏达 ;

孙金梅 .

中国专利 :CN222551529U ,2025-03-04

[4]

碳化硅晶锭冷却装置 [P].

张玮 ;

翟虎 ;

刘志彪 ;

孙金梅 .

中国专利 :CN222861720U ,2025-05-13

[5]

碳化硅晶锭及其加工设备 [P].

李佑仁 ;

周育正 ;

洪博耀 ;

黄志昇 .

中国专利 :CN217291897U ,2022-08-26

[6]

碳化硅晶片、碳化硅晶锭及碳化硅晶片的制备方法 [P].

朴钟辉 ;

沈钟珉 ;

梁殷寿 ;

李演湜 ;

张炳圭 ;

崔正宇 ;

高上基 ;

具甲烈 ;

金政圭 .

中国专利 :CN112746317A ,2021-05-04

[7]

碳化硅晶片、碳化硅晶锭及碳化硅晶片的制备方法 [P].

朴钟辉 ;

沈钟珉 ;

梁殷寿 ;

李演湜 ;

张炳圭 ;

崔正宇 ;

高上基 ;

具甲烈 ;

金政圭 .

韩国专利 :CN112746317B ,2024-05-31

[8]

碳化硅热场体系及碳化硅晶锭生产工艺 [P].

李远田 .

中国专利 :CN118127635A ,2024-06-04

[9]

碳化硅晶锭及其制造方法和用于制造碳化硅晶锭的系统 [P].

朴钟辉 ;

梁殷寿 ;

张炳圭 ;

崔正宇 ;

高上基 ;

具甲烈 ;

金政圭 .

中国专利 :CN113512759A ,2021-10-19

[10]

碳化硅晶锭及其制造方法和用于制造碳化硅晶锭的系统 [P].

张炳圭 ;

朴钟辉 ;

梁殷寿 ;

崔正宇 ;

高上基 ;

具甲烈 ;

金政圭 .

中国专利 :CN113512758A ,2021-10-19

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