碳化硅晶锭清洗装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202421114012.2

申请日：

2024-05-21

公开(公告)号：

CN222551529U

公开(公告)日：

2025-03-04

发明(设计)人：

芮岩涛翟虎林宏达孙金梅

申请人：

浙江兆晶新材料科技有限公司北京中企祥科技有限公司

申请人地址：

323000 浙江省丽水市莲都区南明山街道绿谷大厦309号国际车城15号楼11层-351

IPC主分类号：

B08B3/08

IPC分类号：

B08B3/12 B08B13/00

代理机构：

北京英创嘉友知识产权代理有限公司 11447

代理人：

崔莹莹

法律状态：

授权

国省代码：

浙江省丽水市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-03-04	授权	授权

共 50 条

[1]

碳化硅晶锭、碳化硅晶片、碳化硅晶锭及碳化硅晶片的制造方法 [P].

堂本千秋 ;

正木克明 ;

柴田和也 ;

山口恵彥 ;

上山大辅 .

中国专利 :CN105940149A ,2016-09-14

[2]

碳化硅晶锭处理装置 [P].

乔帅帅 ;

胡方宇 ;

朱耿直 .

中国专利 :CN118147739A ,2024-06-07

[3]

碳化硅晶锭冷却装置 [P].

张玮 ;

翟虎 ;

刘志彪 ;

孙金梅 .

中国专利 :CN222861720U ,2025-05-13

[4]

碳化硅晶锭拆取装置 [P].

胡方宇 .

中国专利 :CN221760040U ,2024-09-24

[5]

碳化硅晶片、碳化硅晶锭及碳化硅晶片的制备方法 [P].

朴钟辉 ;

沈钟珉 ;

梁殷寿 ;

李演湜 ;

张炳圭 ;

崔正宇 ;

高上基 ;

具甲烈 ;

金政圭 .

中国专利 :CN112746317A ,2021-05-04

[6]

碳化硅晶片、碳化硅晶锭及碳化硅晶片的制备方法 [P].

朴钟辉 ;

沈钟珉 ;

梁殷寿 ;

李演湜 ;

张炳圭 ;

崔正宇 ;

高上基 ;

具甲烈 ;

金政圭 .

韩国专利 :CN112746317B ,2024-05-31

[7]

碳化硅晶锭及其制造方法和用于制造碳化硅晶锭的系统 [P].

朴钟辉 ;

梁殷寿 ;

张炳圭 ;

崔正宇 ;

高上基 ;

具甲烈 ;

金政圭 .

中国专利 :CN113512759A ,2021-10-19

[8]

碳化硅晶锭及其制造方法和用于制造碳化硅晶锭的系统 [P].

张炳圭 ;

朴钟辉 ;

梁殷寿 ;

崔正宇 ;

高上基 ;

具甲烈 ;

金政圭 .

中国专利 :CN113512758A ,2021-10-19

[9]

用于生长碳化硅晶锭的粉末以及碳化硅晶锭的制备方法 [P].

朴钟辉 ;

甄明玉 ;

高上基 ;

具甲烈 ;

金政圭 ;

沈钟珉 ;

张炳圭 ;

崔正宇 .

中国专利 :CN112210824A ,2021-01-12

[10]

碳化硅晶锭及其制造方法和用于制造碳化硅晶锭的系统 [P].

张炳圭 ;

朴钟辉 ;

梁殷寿 ;

崔正宇 ;

高上基 ;

具甲烈 ;

金政圭 .

韩国专利 :CN113512758B ,2024-07-05

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