激光照射方法和激光照射系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201780096139.2

申请日：

2017-12-21

公开(公告)号：

CN111247626B

公开(公告)日：

2024-07-16

发明(设计)人：

池上浩若林理老泉博昭诹访辉

申请人：

极光先进雷射株式会社国立大学法人九州大学

申请人地址：

日本栃木县

IPC主分类号：

H01L21/22

IPC分类号：

代理机构：

北京三友知识产权代理有限公司 11127

代理人：

金玲;黄纶伟

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-07-16	授权	授权

共 50 条

[1]

激光照射方法和激光照射系统 [P].

池上浩 ;

若林理 ;

老泉博昭 ;

诹访辉 .

中国专利 :CN111247626A ,2020-06-05

[2]

激光照射系统 [P].

若林理 ;

池上浩 ;

老泉博昭 .

日本专利 :CN111247625B ,2024-03-08

[3]

激光照射系统 [P].

若林理 ;

池上浩 ;

老泉博昭 .

中国专利 :CN111247625A ,2020-06-05

[4]

激光照射设备和激光照射方法 [P].

田中幸一郎 ;

山本良明 .

中国专利 :CN100524629C ,2007-05-23

[5]

激光照射设备和激光照射方法 [P].

田中幸一郎 ;

山本良明 .

中国专利 :CN101599427B ,2009-12-09

[6]

激光照射方法和激光照射装置 [P].

金贤中 ;

方勇植 ;

朴建植 ;

高秉昊 ;

池昊真 .

中国专利 :CN104741777A ,2015-07-01

[7]

激光照射系统及激光照射方法 [P].

李垧泽 ;

申铉喆 ;

郑元雄 .

中国专利 :CN102034682A ,2011-04-27

[8]

激光照射装置以及激光照射方法 [P].

奥村展 ;

白种埈 ;

苏炳洙 .

中国专利 :CN114188240A ,2022-03-15

[9]

激光照射装置、激光照射方法、及半导体器件的制造方法 [P].

田中博也 ;

山口芳广 ;

小林直之 .

日本专利 :CN119836336A ,2025-04-15

[10]

激光照射检测装置、激光照射检测方法以及激光照射检测系统 [P].

汤舟秀太 ;

平田卓哉 ;

五十岚刚 .

中国专利 :CN110073175B ,2019-07-30

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