激光照射系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201780096121.2

申请日：

2017-12-21

公开(公告)号：

CN111247625B

公开(公告)日：

2024-03-08

发明(设计)人：

若林理池上浩老泉博昭

申请人：

极光先进雷射株式会社国立大学法人九州大学

申请人地址：

日本栃木县

IPC主分类号：

H01L21/22

IPC分类号：

H01L21/268

代理机构：

北京三友知识产权代理有限公司 11127

代理人：

金玲;黄纶伟

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-03-08	授权	授权

共 50 条

[1]

激光照射系统 [P].

若林理 ;

池上浩 ;

老泉博昭 .

中国专利 :CN111247625A ,2020-06-05

[2]

激光照射方法和激光照射系统 [P].

池上浩 ;

若林理 ;

老泉博昭 ;

诹访辉 .

中国专利 :CN111247626A ,2020-06-05

[3]

激光照射方法和激光照射系统 [P].

池上浩 ;

若林理 ;

老泉博昭 ;

诹访辉 .

日本专利 :CN111247626B ,2024-07-16

[4]

激光照射装置、激光照射方法、及半导体器件的制造方法 [P].

田中博也 ;

山口芳广 ;

小林直之 .

日本专利 :CN119836336A ,2025-04-15

[5]

激光照射装置、激光照射方法以及半导体器件的制造方法 [P].

田中博也 ;

山口芳广 ;

小林直之 .

日本专利 :CN118872028A ,2024-10-29

[6]

激光照射设备、激光照射方法和用于制造半导体装置的方法 [P].

佐藤亮介 ;

小林直之 .

日本专利 :CN118284955A ,2024-07-02

[7]

激光照射装置 [P].

李源规 ;

崔宰凡 ;

吴在焕 ;

张荣真 ;

陈圣铉 .

中国专利 :CN102339739A ,2012-02-01

[8]

激光照射装置 [P].

柿崎弘司 ;

诹访辉 ;

若林理 .

中国专利 :CN107078454A ,2017-08-18

[9]

激光照射系统及激光照射方法 [P].

李垧泽 ;

申铉喆 ;

郑元雄 .

中国专利 :CN102034682A ,2011-04-27

[10]

激光照射设备和激光照射方法 [P].

田中幸一郎 ;

山本良明 .

中国专利 :CN100524629C ,2007-05-23

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