气体喷头及薄膜沉积装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202323453577.1

申请日：

2023-12-18

公开(公告)号：

CN221440859U

公开(公告)日：

2024-07-30

发明(设计)人：

杨士逸

申请人：

奥恒科技股份有限公司

申请人地址：

中国香港

IPC主分类号：

C23C16/455

IPC分类号：

C23C16/52

代理机构：

北京康信知识产权代理有限责任公司 11240

代理人：

甄苗苗

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-07-30	授权	授权

共 50 条

[1]

气体喷淋组件及薄膜沉积装置 [P].

刘晨 ;

耿德会 ;

赵旭日 .

中国专利 :CN222313297U ,2025-01-07

[2]

气体喷头及沉积设备 [P].

杨士逸 .

中国专利 :CN221398035U ,2024-07-23

[3]

薄膜沉积装置 [P].

黄常洙 ;

李愚嗔 ;

河周一 ;

申奇照 ;

李敦熙 .

中国专利 :CN204714899U ,2015-10-21

[4]

薄膜沉积装置 [P].

杨与胜 ;

张迎春 .

中国专利 :CN201183822Y ,2009-01-21

[5]

薄膜沉积设备及气体供给装置 [P].

程诗垚 ;

宋海 ;

王秉国 ;

蒲浩 ;

刘松 ;

王启光 .

中国专利 :CN109722651A ,2019-05-07

[6]

气体喷淋结构及薄膜沉积装置 [P].

刘晨 .

中国专利 :CN118422168A ,2024-08-02

[7]

气体喷淋结构及薄膜沉积装置 [P].

刘晨 .

中国专利 :CN118422168B ,2024-11-19

[8]

抽气上盖、气体传输机构及薄膜沉积装置 [P].

陈庆尧 ;

吴凤丽 ;

刘振 ;

白海健 ;

杨天奇 ;

卜夺夺 .

中国专利 :CN221940608U ,2024-11-01

[9]

薄膜沉积装置、薄膜沉积方法及薄膜沉积设备 [P].

朱志君 ;

王晖 ;

金京俊 .

中国专利 :CN120193262A ,2025-06-24

[10]

气相沉积气体喷头 [P].

吴铭钦 ;

刘峰 ;

陈荣钧 .

中国专利 :CN213388889U ,2021-06-08

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