一种超高纯铝靶及其制备方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202410891452.7
申请日
2024-07-04
公开(公告)号
CN118639151A
公开(公告)日
2024-09-13
发明(设计)人
陆娟 岳晓聪 黄东长 童培云
申请人
先导薄膜材料(安徽)有限公司
申请人地址
230000 安徽省合肥市新站区龙子湖路658号
IPC主分类号
C22F1/04
IPC分类号
C23C14/34
代理机构
广州三环专利商标代理有限公司 44202
代理人
柯梦云
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[1]
一种高纯铝靶坯及其制备方法 [P]. 
黄弘斌 ;
岳晓聪 ;
黄娟 ;
黄宇彬 ;
童培云 .
中国专利 :CN117512530A ,2024-02-06
[2]
一种超高纯铝靶材的制备方法 [P]. 
冉继龙 ;
李谢华 ;
黄瑞银 ;
徐始祥 ;
罗筱雄 ;
陈国生 ;
詹开严 ;
刘华春 .
中国专利 :CN106282945A ,2017-01-04
[3]
一种超高纯、等轴细晶铝靶材的制备方法 [P]. 
温艳玲 ;
惠知 ;
张学智 .
中国专利 :CN109518140A ,2019-03-26
[4]
一种超高纯铝细晶、高取向靶材的制备方法 [P]. 
班春燕 ;
朱庆丰 ;
崔建忠 .
中国专利 :CN102002653A ,2011-04-06
[5]
一种高纯钇靶及其制备方法 [P]. 
陆娟 ;
黄东长 ;
童培云 .
中国专利 :CN118639156A ,2024-09-13
[6]
一种超高纯铝溅射靶材及其轧制方法 [P]. 
吴本明 ;
文宏福 .
中国专利 :CN110205590A ,2019-09-06
[7]
一种超高强纯铝的制备方法 [P]. 
宋丹 ;
周芝凯 ;
王国威 ;
禚孝儒 ;
邱超 ;
李玉华 .
中国专利 :CN111545585A ,2020-08-18
[8]
一种高纯铝或铝合金靶材及其制备方法和用途 [P]. 
姚力军 ;
边逸军 ;
潘杰 ;
王学泽 ;
李小萍 .
中国专利 :CN113061853A ,2021-07-02
[9]
一种高纯铝靶材的制备方法 [P]. 
姚力军 ;
潘杰 ;
边逸军 ;
王学泽 ;
章丽娜 ;
罗明浩 .
中国专利 :CN113897566B ,2022-01-07
[10]
一种高纯铝靶材的制备方法 [P]. 
陈晓达 ;
张永健 ;
韩小亮 ;
容构华 ;
陈枫 .
中国专利 :CN119710573A ,2025-03-28