一种超高纯铝溅射靶材及其轧制方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910379953.6

申请日：

2019-05-08

公开(公告)号：

CN110205590A

公开(公告)日：

2019-09-06

发明(设计)人：

吴本明文宏福

申请人：

申请人地址：

523000 广东省东莞市厚街镇汀山村汀山路121号

IPC主分类号：

C23C1434

IPC分类号：

C23C1414

代理机构：

广州骏思知识产权代理有限公司 44425

代理人：

程毅

法律状态：

发明专利申请公布后的驳回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-04-08	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C23C 14/34 申请公布日:20190906
2019-09-06	公开	公开
2019-10-08	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/34 申请日:20190508
2020-12-01	专利申请权、专利权的转移	专利申请权的转移 IPC(主分类):C23C 14/34 登记生效日:20201118 变更事项:申请人变更前权利人:东莞市欧莱溅射靶材有限公司变更后权利人:韶关市欧莱高新材料有限公司变更事项:地址变更前权利人:523000 广东省东莞市厚街镇汀山村汀山路121号变更后权利人:512000 广东省韶关市武江区沐溪工业园阳山片区内变更事项:申请人变更后权利人:东莞市欧莱溅射靶材有限公司

共 50 条

[1]

超高纯铝溅射靶材自动定位设备 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

魏小林 .

中国专利 :CN111748778A ,2020-10-09

[2]

一种制备超高纯铝及超高纯铝合金溅射靶材的方法 [P].

宋小利 ;

张向东 ;

张文勇 ;

杨太礼 ;

王毅 ;

付勇 .

中国专利 :CN103834924A ,2014-06-04

[3]

超高纯铝超细晶粒溅射靶材的制备方法 [P].

张佼 ;

程健 ;

东青 ;

赵国刚 ;

李明泽 ;

疏达 ;

戴永兵 ;

孙宝德 ;

王俊 .

中国专利 :CN101638760A ,2010-02-03

[4]

一种超高纯铝硅钛溅射靶材合金的制备方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

仝连海 .

中国专利 :CN114427081A ,2022-05-03

[5]

一种高纯铝硅合金溅射靶材坯料及其制备方法 [P].

徐亚军 ;

马小红 ;

努力古·依明 ;

张博 ;

刘江滨 .

中国专利 :CN109628897A ,2019-04-16

[6]

溅射靶、溅射靶材及其制造方法 [P].

小岛丰 ;

松前和男 ;

葛城成吾 .

中国专利 :CN101360844A ,2009-02-04

[7]

溅射靶材、溅射靶、溅射靶用铝板及其制造方法 [P].

竹田博贵 ;

藤田昌宏 .

中国专利 :CN110709532B ,2020-01-17

[8]

一种高纯钴溅射靶材的制备方法、高纯钴溅射靶材及应用 [P].

王兴权 ;

李勇军 ;

罗俊锋 ;

何金江 ;

徐国进 ;

丁照崇 ;

刘丹 ;

朱孜毅 .

中国专利 :CN116288237B ,2025-09-02

[9]

一种高纯锑溅射靶材及其制备方法 [P].

沈文兴 ;

肖翀 ;

白平平 ;

童培云 .

中国专利 :CN115948715B ,2024-07-19

[10]

一种高纯银溅射靶材及其制备方法 [P].

余恒飞 ;

黄宇彬 ;

毛远兴 ;

祁沛熙 ;

董小雨 ;

童培云 .

中国专利 :CN115992342B ,2024-06-07

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