一种超高纯铝硅钛溅射靶材合金的制备方法

被引：0

申请号：

CN202210095951.6

申请日：

2022-01-26

公开(公告)号：

CN114427081A

公开(公告)日：

2022-05-03

发明(设计)人：

姚力军潘杰王学泽仝连海

申请人：

申请人地址：

315400 浙江省宁波市余姚市经济开发区名邦科技工业园区安山路

IPC主分类号：

C23C1434

IPC分类号：

C22C102 C22C2100 B22D100

代理机构：

北京远智汇知识产权代理有限公司 11659

代理人：

徐浩

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-05-20	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/34 申请日:20220126
2022-05-03	公开	公开

共 50 条

[1]

一种制备超高纯铝及超高纯铝合金溅射靶材的方法 [P].

宋小利 ;

张向东 ;

张文勇 ;

杨太礼 ;

王毅 ;

付勇 .

中国专利 :CN103834924A ,2014-06-04

[2]

超高纯铝超细晶粒溅射靶材的制备方法 [P].

张佼 ;

程健 ;

东青 ;

赵国刚 ;

李明泽 ;

疏达 ;

戴永兵 ;

孙宝德 ;

王俊 .

中国专利 :CN101638760A ,2010-02-03

[3]

一种超高纯铝溅射靶材及其轧制方法 [P].

吴本明 ;

文宏福 .

中国专利 :CN110205590A ,2019-09-06

[4]

超高纯铝溅射靶材自动定位设备 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

魏小林 .

中国专利 :CN111748778A ,2020-10-09

[5]

一种高纯铝硅合金溅射靶材坯料及其制备方法 [P].

徐亚军 ;

马小红 ;

努力古·依明 ;

张博 ;

刘江滨 .

中国专利 :CN109628897A ,2019-04-16

[6]

硅铝溅射靶材的制备方法 [P].

施玉良 .

中国专利 :CN106498350A ,2017-03-15

[7]

溅射靶材用硅锆合金的制备方法 [P].

李鹏廷 ;

王凯 ;

任世强 ;

谭毅 ;

姜大川 .

中国专利 :CN106367625A ,2017-02-01

[8]

一种钨钛硅合金溅射靶材及其制备方法 [P].

姚力军 ;

边逸军 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

黄东长 .

中国专利 :CN112111719B ,2020-12-22

[9]

管状旋转高纯硅溅射靶材的制备方法 [P].

施玉良 .

中国专利 :CN106567045B ,2017-04-19

[10]

一种高纯钛溅射靶材的制备方法 [P].

王旭彪 ;

吴金平 ;

刘承泽 ;

王作华 ;

刘未 .

中国专利 :CN120138584B ,2025-08-12

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