溅射靶材用硅锆合金的制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201610707859.5

申请日：

2016-08-23

公开(公告)号：

CN106367625A

公开(公告)日：

2017-02-01

发明(设计)人：

李鹏廷王凯任世强谭毅姜大川

申请人：

申请人地址：

116024 辽宁省大连市高新园区凌工路2号

IPC主分类号：

C22C105

IPC分类号：

C22C2800

代理机构：

大连东方专利代理有限责任公司 21212

代理人：

李馨

法律状态：

发明专利申请公布后的驳回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-01-25	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C22C 1/05 申请公布日:20170201
2017-03-01	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101705813590 IPC(主分类):C22C 1/05 专利申请号:2016107078595 申请日:20160823
2017-02-01	公开	公开

共 50 条

[1]

一种溅射靶材用硅硼母合金及其制备方法 [P].

李鹏廷 ;

李兴烨 ;

谭毅 ;

姜大川 ;

胡志强 .

中国专利 :CN114044677B ,2022-02-15

[2]

一种铬硅合金溅射靶材的制备方法 [P].

姚力军 ;

边逸军 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

杨慧珍 .

中国专利 :CN112376023A ,2021-02-19

[3]

一种钽硅合金溅射靶材的制备方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

边逸军 ;

王学泽 ;

李岢 .

中国专利 :CN112030120A ,2020-12-04

[4]

一种钽硅合金溅射靶材的制备方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

周友平 ;

黄洁文 ;

吴东青 .

中国专利 :CN115537740A ,2022-12-30

[5]

硅铝溅射靶材的制备方法 [P].

施玉良 .

中国专利 :CN106498350A ,2017-03-15

[6]

溅射靶材用钨钛合金板的制备方法 [P].

丁旭 ;

白锋 ;

李文超 ;

侯军涛 ;

黄先明 ;

郭让民 .

中国专利 :CN102002605A ,2011-04-06

[7]

一种铬硅合金溅射靶材及其制备方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

边逸军 ;

王学泽 ;

杨慧珍 .

中国专利 :CN113770360A ,2021-12-10

[8]

铁钴钽合金溅射靶材的制备方法、铁钴钽合金溅射靶材及应用 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

王学泽 ;

吴东青 .

中国专利 :CN108004515A ,2018-05-08

[9]

Mo合金溅射靶材的制造方法以及Mo合金溅射靶材 [P].

村田英夫 ;

上滩真史 ;

井上惠介 .

中国专利 :CN103990802B ,2014-08-20

[10]

Mo合金溅射靶材的制造方法以及Mo合金溅射靶材 [P].

村田英夫 ;

上滩真史 ;

井上惠介 .

中国专利 :CN103173728A ,2013-06-26

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