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扫描型探针显微镜的光轴调整方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201980070728.2
申请日：
2019-07-03
公开(公告)号：
CN112955753B
公开(公告)日：
2024-06-14
发明(设计)人：
平出雅人
申请人：
株式会社岛津制作所
申请人地址：
日本京都府
IPC主分类号：
G01Q20/02
IPC分类号：
代理机构：
北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277
代理人：
刘新宇;张会华
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-06-14 | 授权 | 授权 |