晶圆金属含量分析检测辅助装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202322673575.7

申请日：

2023-10-07

公开(公告)号：

CN221174561U

公开(公告)日：

2024-06-18

发明(设计)人：

韦胜蔡新春

申请人：

苏州鑫睿微电子设备有限公司

申请人地址：

215000 江苏省苏州市工业园区新发路1号一号楼西2楼西区G108室

IPC主分类号：

G01N33/00

IPC分类号：

G01L5/00

代理机构：

苏州智伟华专利代理事务所(普通合伙) 32641

代理人：

赵成磊

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-06-18	授权	授权

共 50 条

[1]

一种晶圆金属含量分析用的检测装置 [P].

韦胜 ;

赵明锆 .

中国专利 :CN221007533U ,2024-05-24

[2]

晶圆检测用辅助输送装置 [P].

朱伟 ;

张智良 .

中国专利 :CN220821513U ,2024-04-19

[3]

晶圆检测方法及晶圆检测装置 [P].

苏旭文 .

中国专利 :CN119601486A ,2025-03-11

[4]

一种晶圆状态检测装置和工艺机台 [P].

刘志攀 ;

丁振宇 ;

陈幸 ;

邹浩 ;

夏爱华 .

中国专利 :CN206271678U ,2017-06-20

[5]

晶圆检测装置 [P].

常乐伟 ;

张伟 ;

李立 .

中国专利 :CN221282051U ,2024-07-05

[6]

晶圆检测装置 [P].

武一鸣 ;

古市昌稔 .

中国专利 :CN217133393U ,2022-08-05

[7]

晶圆检测装置和晶圆定位装置 [P].

张学良 ;

高海林 .

中国专利 :CN202770777U ,2013-03-06

[8]

晶圆质量分析方法及装置 [P].

林光启 ;

张霞峰 ;

李琛 .

中国专利 :CN101290901A ,2008-10-22

[9]

晶圆中心检测装置 [P].

傅仁宏 ;

王孝伟 ;

王娴华 .

中国专利 :CN217507291U ,2022-09-27

[10]

晶圆检测系统及晶圆检测设备 [P].

陈韦志 ;

游本懋 ;

林怡彦 .

中国专利 :CN212967612U ,2021-04-13

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