一种晶圆状态检测装置和工艺机台

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201621439326.5

申请日：

2016-12-26

公开(公告)号：

CN206271678U

公开(公告)日：

2017-06-20

发明(设计)人：

刘志攀丁振宇陈幸邹浩夏爱华

申请人：

申请人地址：

430205 湖北省武汉市东湖开发区高新四路18号

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

代理机构：

北京轻创知识产权代理有限公司 11212

代理人：

杨立;陈振玉

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-06-20	授权	授权

共 50 条

[1]

一种晶圆状态检测装置 [P].

施钦天 ;

屠国强 ;

徐铭 ;

刘志鹏 ;

陆赛浩 ;

宋莹瑛 .

中国专利 :CN223414034U ,2025-10-03

[2]

一种晶圆状态检测机构、检测方法和晶圆传输设备 [P].

王旭晨 ;

王文广 ;

冯启异 ;

叶莹 .

中国专利 :CN117174625B ,2024-02-06

[3]

一种晶圆状态检测装置及晶圆装载设备 [P].

陈佳康 ;

方良 .

中国专利 :CN222775279U ,2025-04-18

[4]

晶圆状态检测方法及晶圆状态检测装置 [P].

杨森元 ;

李宁宁 ;

邓博雅 ;

吕维迪 ;

赵佳强 ;

王晓尉 ;

王二朋 ;

于佳豪 .

中国专利 :CN117537776A ,2024-02-09

[5]

一种晶圆盒装置、机台和晶圆检测方法 [P].

赵军 ;

苏兴才 ;

王晓雯 ;

王乔慈 .

中国专利 :CN114121737A ,2022-03-01

[6]

一种晶圆吸附状态的检测方法、检测装置及控制器 [P].

宋宇 ;

张赛谦 ;

刘婧婧 ;

李光凯 .

中国专利 :CN114582763A ,2022-06-03

[7]

晶圆工艺机台 [P].

刘峰松 ;

沈显青 ;

杨卫钢 ;

严峰 ;

王宏奇 ;

庄望超 ;

高鹏程 ;

张汝京 .

中国专利 :CN222953061U ,2025-06-06

[8]

晶圆工艺机台 [P].

解海江 ;

何勇 ;

曹棚棚 .

中国专利 :CN222838809U ,2025-05-06

[9]

一种晶圆缺陷检测机台 [P].

李云华 ;

黄雷 .

中国专利 :CN214313173U ,2021-09-28

[10]

一种监测镀膜机台内晶圆状态的装置 [P].

张振 ;

张贵财 ;

吴数林 .

中国专利 :CN223038908U ,2025-06-27

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