一种晶圆状态检测装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202422022476.7

申请日：

2024-08-20

公开(公告)号：

CN223414034U

公开(公告)日：

2025-10-03

发明(设计)人：

施钦天屠国强徐铭刘志鹏陆赛浩宋莹瑛

申请人：

江苏启微半导体设备有限公司上海至纯洁净系统科技股份有限公司

申请人地址：

226200 江苏省南通市启东市牡丹江西路2888号

IPC主分类号：

H01L21/66

IPC分类号：

代理机构：

上海申新律师事务所 31272

代理人：

党蕾

法律状态：

授权

国省代码：

江苏省南通市

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-10-03	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆状态检测方法及晶圆状态检测装置 [P].

杨森元 ;

李宁宁 ;

邓博雅 ;

吕维迪 ;

赵佳强 ;

王晓尉 ;

王二朋 ;

于佳豪 .

中国专利 :CN117537776A ,2024-02-09

[2]

一种晶圆状态检测装置及晶圆装载设备 [P].

陈佳康 ;

方良 .

中国专利 :CN222775279U ,2025-04-18

[3]

一种晶圆状态检测装置和工艺机台 [P].

刘志攀 ;

丁振宇 ;

陈幸 ;

邹浩 ;

夏爱华 .

中国专利 :CN206271678U ,2017-06-20

[4]

晶圆检测设备 [P].

王伟 ;

张淑荣 .

中国专利 :CN212845981U ,2021-03-30

[5]

一种晶圆集成检测装置 [P].

陈超 ;

张兴华 ;

唐德明 .

中国专利 :CN220542806U ,2024-02-27

[6]

一种晶圆边缘检测装置 [P].

朱琪 ;

鉏晨涛 ;

钱宝华 .

中国专利 :CN222994350U ,2025-06-17

[7]

一种晶圆凸出检测装置 [P].

方亮 ;

王吉奎 ;

翁林 .

中国专利 :CN216898796U ,2022-07-05

[8]

一种晶圆红外检测装置 [P].

王云翔 .

中国专利 :CN205488044U ,2016-08-17

[9]

一种提篮内晶圆放置状态检测装置 [P].

贺少鹏 ;

童灿钊 ;

巫礼杰 ;

仰瑞 ;

李迁 ;

赵冬冬 ;

王博 ;

高云峰 .

中国专利 :CN211879344U ,2020-11-06

[10]

一种晶圆表面检测装置及其晶圆检测设备 [P].

吴坤 ;

黄勇新 .

中国专利 :CN221078509U ,2024-06-04

← 1 2 3 4 5 →