一种晶圆边缘检测装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202421797172.1

申请日：

2024-07-29

公开(公告)号：

CN222994350U

公开(公告)日：

2025-06-17

发明(设计)人：

朱琪鉏晨涛钱宝华

申请人：

浙江埃纳检测技术有限公司

申请人地址：

314499 浙江省嘉兴市海宁市海昌街道海宁经济开发区漕河泾路17号2号楼1040（自主申报）

IPC主分类号：

G01N21/94

IPC分类号：

G01N21/01

代理机构：

嘉兴尚正专利代理事务所(普通合伙) 33467

代理人：

赵文静

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-06-17	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆边缘检测装置 [P].

颜博 ;

方剑平 .

中国专利 :CN221102015U ,2024-06-07

[2]

一种晶圆边缘检测装置及其晶圆检测设备 [P].

吴坤 ;

钟小江 .

中国专利 :CN221262342U ,2024-07-02

[3]

晶圆边缘刻蚀检测装置 [P].

李苗苗 ;

刘佳磊 ;

郭子杨 .

中国专利 :CN221008902U ,2024-05-24

[4]

一种晶圆边缘轮廓检测装置 [P].

方士伟 ;

葛明月 ;

王思维 .

中国专利 :CN221376587U ,2024-07-19

[5]

一种晶圆边缘检测装置 [P].

王涛 ;

张浩 ;

李伟 ;

刘智超 .

中国专利 :CN222581098U ,2025-03-07

[6]

一种晶圆边缘形态检测装置 [P].

戴锦新 ;

张虎近 .

中国专利 :CN223367725U ,2025-09-23

[7]

一种晶圆边缘检测设备 [P].

柯武生 ;

王汉波 ;

郭军 .

中国专利 :CN216773184U ,2022-06-17

[8]

晶圆边缘检测装置 [P].

林裕勋 ;

杨善 .

中国专利 :CN117855098A ,2024-04-09

[9]

一种晶圆边缘缺陷检测装置 [P].

曹棚棚 ;

解海江 ;

何勇 .

中国专利 :CN223362059U ,2025-09-19

[10]

一种晶圆产品边缘检测装置 [P].

陈跃华 ;

彭从锋 ;

王建国 ;

卜志超 ;

张鑫 .

中国专利 :CN223624960U ,2025-12-02

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