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一种晶圆边缘轮廓检测装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202323207547.2
申请日：
2023-11-27
公开(公告)号：
CN221376587U
公开(公告)日：
2024-07-19
发明(设计)人：
方士伟
葛明月
王思维
申请人：
星钥（珠海）半导体有限公司
申请人地址：
519085 广东省珠海市高新区唐家湾镇湾创路58号5层505室
IPC主分类号：
G01B11/24
IPC分类号：
H01L21/66
代理机构：
北京集佳知识产权代理有限公司 11227
代理人：
柳虹
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-07-19 | 授权 | 授权 |
| 2025-07-11 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利权的转移IPC(主分类):G01B 11/24登记生效日:20250701变更事项:专利权人变更前权利人:星钥（珠海）半导体有限公司变更后权利人:星钥半导体（武汉）有限公司变更事项:国家或地区变更前权利人:中国变更后权利人:中国变更事项:地址变更前权利人:519085 广东省珠海市高新区唐家湾镇湾创路58号5层505室变更后权利人:430000 湖北省武汉市东湖新技术开发区未来科技城龙山南街6号展想新思中心1号楼8楼808单元 |