一种晶圆边缘缺陷检测装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202421946843.6

申请日：

2024-08-12

公开(公告)号：

CN223362059U

公开(公告)日：

2025-09-19

发明(设计)人：

曹棚棚解海江何勇

申请人：

上海积塔半导体有限公司

申请人地址：

201306 上海市浦东新区自由贸易试验区临港新片区云水路600号

IPC主分类号：

G01N21/95

IPC分类号：

G01N21/01 H01L21/66

代理机构：

上海光华专利事务所(普通合伙) 31219

代理人：

余明伟

法律状态：

授权

国省代码：

上海市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-09-19	授权	授权

共 50 条

[1]

一种晶圆边缘缺陷检测方法及装置 [P].

尚浩天 ;

吴强 ;

崔可涛 ;

张彩红 ;

陈思乡 .

中国专利 :CN117115130B ,2025-10-10

[2]

一种晶圆边缘缺陷检测装置及方法 [P].

郑玉成 .

中国专利 :CN119470475A ,2025-02-18

[3]

一种改善晶圆边缘缺陷的装置 [P].

张欣 ;

丁小弟 ;

金懿 .

中国专利 :CN205069599U ,2016-03-02

[4]

一种半导体晶圆缺陷检测装置 [P].

陈宗廷 ;

朱放中 ;

于铁牛 .

中国专利 :CN223470977U ,2025-10-24

[5]

一种检测晶圆边缘缺陷的方法 [P].

冯亚丽 ;

顾晓芳 ;

倪棋梁 ;

龙吟 ;

陈宏璘 .

中国专利 :CN107993955A ,2018-05-04

[6]

晶圆边缘检测装置 [P].

颜博 ;

方剑平 .

中国专利 :CN221102015U ,2024-06-07

[7]

晶圆边缘检测装置 [P].

林裕勋 ;

杨善 .

中国专利 :CN117855098A ,2024-04-09

[8]

一种晶圆边缘检测装置及其晶圆检测设备 [P].

吴坤 ;

钟小江 .

中国专利 :CN221262342U ,2024-07-02

[9]

一种晶圆边缘检测装置 [P].

朱琪 ;

鉏晨涛 ;

钱宝华 .

中国专利 :CN222994350U ,2025-06-17

[10]

一种晶圆边缘检测装置 [P].

王涛 ;

张浩 ;

李伟 ;

刘智超 .

中国专利 :CN222581098U ,2025-03-07

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