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一种晶圆边缘缺陷检测装置及方法

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202510057276.1
申请日：
2025-01-14
公开(公告)号：
CN119470475A
公开(公告)日：
2025-02-18
发明(设计)人：
郑玉成
申请人：
上海优睿谱半导体设备有限公司
申请人地址：
201210 上海市浦东新区盛夏路570号1幢402室
IPC主分类号：
G01N21/95
IPC分类号：
G01N21/88 H01L21/66
代理机构：
上海智晟知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31313
代理人：
张东梅
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
上海市
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-03-07 实质审查的生效 实质审查的生效IPC(主分类):G01N 21/95申请日:20250114
2025-02-18 公开 公开
共 50 条
[1]
一种晶圆边缘缺陷检测方法及装置 [P]. 
尚浩天 ;
吴强 ;
崔可涛 ;
张彩红 ;
陈思乡 .
中国专利 :CN117115130B ,2025-10-10
[2]
一种晶圆边缘缺陷检测装置 [P]. 
曹棚棚 ;
解海江 ;
何勇 .
中国专利 :CN223362059U ,2025-09-19
[3]
晶圆边缘缺陷的检测方法及装置 [P]. 
冯亚丽 .
中国专利 :CN110854035A ,2020-02-28
[4]
晶圆边缘缺陷检测系统及方法 [P]. 
胡向华 ;
冯亚丽 ;
何广智 ;
顾晓芳 ;
倪棋梁 .
中国专利 :CN111307819B ,2024-03-08
[5]
晶圆边缘缺陷检测方法、装置、介质及晶圆加工方法 [P]. 
高坤 ;
王雷 .
中国专利 :CN118761976A ,2024-10-11
[6]
晶圆边缘缺陷检测系统及方法 [P]. 
胡向华 ;
冯亚丽 ;
何广智 ;
顾晓芳 ;
倪棋梁 .
中国专利 :CN111307819A ,2020-06-19
[7]
一种晶圆边缘检测方法及检测装置 [P]. 
姚宏兵 ;
陈锟 ;
张巍 .
中国专利 :CN120954991A ,2025-11-14
[8]
晶圆边缘缺陷的检测方法 [P]. 
翟云云 ;
戴腾 .
中国专利 :CN104282587A ,2015-01-14
[9]
一种晶圆边缘缺陷的检测方法 [P]. 
倪棋梁 ;
陈宏璘 ;
龙吟 .
中国专利 :CN104766810B ,2015-07-08
[10]
一种检测晶圆边缘缺陷的方法 [P]. 
冯亚丽 ;
顾晓芳 ;
倪棋梁 ;
龙吟 ;
陈宏璘 .
中国专利 :CN107993955A ,2018-05-04
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