晶圆边缘缺陷的检测方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310277565.X

申请日：

2013-07-03

公开(公告)号：

CN104282587A

公开(公告)日：

2015-01-14

发明(设计)人：

翟云云戴腾

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江路18号

IPC主分类号：

H01L2166

IPC分类号：

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

屈蘅;李时云

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-05-31	授权	授权
2015-02-11	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101598157750 IPC(主分类):H01L 21/66 专利申请号:201310277565X 申请日:20130703
2015-01-14	公开	公开

共 50 条

[1]

晶圆边缘缺陷检测数据的处理方法 [P].

王婷兰 .

中国专利 :CN118982520A ,2024-11-19

[2]

晶圆边缘缺陷的检测方法及装置 [P].

冯亚丽 .

中国专利 :CN110854035A ,2020-02-28

[3]

晶圆边缘缺陷检测方法、装置、介质及晶圆加工方法 [P].

高坤 ;

王雷 .

中国专利 :CN118761976A ,2024-10-11

[4]

一种晶圆边缘缺陷的检测方法 [P].

倪棋梁 ;

陈宏璘 ;

龙吟 .

中国专利 :CN104766810B ,2015-07-08

[5]

用于边缘检测的测试晶圆及晶圆边缘检测方法 [P].

庄燕萍 .

中国专利 :CN101750038A ,2010-06-23

[6]

晶圆边缘缺陷检测系统及方法 [P].

胡向华 ;

冯亚丽 ;

何广智 ;

顾晓芳 ;

倪棋梁 .

中国专利 :CN111307819B ,2024-03-08

[7]

晶圆边缘缺陷检测系统及方法 [P].

胡向华 ;

冯亚丽 ;

何广智 ;

顾晓芳 ;

倪棋梁 .

中国专利 :CN111307819A ,2020-06-19

[8]

晶圆缺陷检测方法 [P].

曾明 .

中国专利 :CN103377960A ,2013-10-30

[9]

改善晶圆边缘缺陷的方法 [P].

王诗昊 .

中国专利 :CN115020333A ,2022-09-06

[10]

晶圆边缘轮廓的检测方法 [P].

张岩 ;

刘振洲 ;

王锡铭 ;

赵子强 ;

赵然 ;

陈菲菲 .

中国专利 :CN110940288A ,2020-03-31

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