晶圆缺陷检测方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210127237.7

申请日：

2012-04-26

公开(公告)号：

CN103377960A

公开(公告)日：

2013-10-30

发明(设计)人：

曾明

申请人：

申请人地址：

214028 江苏省无锡市国家高新技术产业开发区新洲路8号

IPC主分类号：

H01L2166

IPC分类号：

代理机构：

广州华进联合专利商标代理有限公司 44224

代理人：

邓云鹏

法律状态：

公开

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-10-30	公开	公开
2013-11-27	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101545323110 IPC(主分类):H01L 21/66 专利申请号:2012101272377 申请日:20120426
2016-08-24	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆缺陷检测设备以及晶圆缺陷检测方法 [P].

金德容 ;

吴容哲 ;

曲扬 .

中国专利 :CN115020261A ,2022-09-06

[2]

晶圆缺陷检测系统及晶圆缺陷检测方法 [P].

杨峰 ;

林瑶 ;

王明明 ;

韩永琪 .

中国专利 :CN120847126A ,2025-10-28

[3]

晶圆缺陷检测方法 [P].

王通 ;

王潇斐 .

中国专利 :CN112086373A ,2020-12-15

[4]

晶圆缺陷检测方法 [P].

李军 ;

何广智 ;

倪棋梁 .

中国专利 :CN115471475A ,2022-12-13

[5]

晶圆缺陷检测方法 [P].

倪棋梁 ;

陈宏璘 ;

龙吟 ;

王恺 .

中国专利 :CN103646889A ,2014-03-19

[6]

晶圆缺陷检测方法 [P].

汪红英 ;

孙强 ;

陈思安 ;

陈萝茜 .

中国专利 :CN104900553B ,2015-09-09

[7]

晶圆缺陷检测方法 [P].

刘明宗 ;

王世生 .

中国专利 :CN112561849A ,2021-03-26

[8]

晶圆缺陷检测方法 [P].

倪棋梁 ;

陈宏璘 ;

龙吟 .

中国专利 :CN103646899A ,2014-03-19

[9]

晶圆缺陷检测方法 [P].

倪棋梁 ;

范荣伟 ;

陈宏璘 ;

龙吟 .

中国专利 :CN103646893A ,2014-03-19

[10]

晶圆缺陷检测方法 [P].

蔡坤 .

中国专利 :CN113013048A ,2021-06-22

← 1 2 3 4 5 →