一种晶圆红外检测装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201620038283.3

申请日：

2016-01-15

公开(公告)号：

CN205488044U

公开(公告)日：

2016-08-17

发明(设计)人：

王云翔

申请人：

申请人地址：

215123 江苏省苏州市工业园区星湖街218号生物纳米园A7楼506室

IPC主分类号：

H01L2166

IPC分类号：

代理机构：

代理人：

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-12-25	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/66 申请日:20160115 授权公告日:20160817 终止日期:20200115
2016-08-17	授权	授权

共 50 条

[1]

一种晶圆集成检测装置 [P].

陈超 ;

张兴华 ;

唐德明 .

中国专利 :CN220542806U ,2024-02-27

[2]

一种晶圆边缘检测装置 [P].

朱琪 ;

鉏晨涛 ;

钱宝华 .

中国专利 :CN222994350U ,2025-06-17

[3]

一种晶圆状态检测装置 [P].

施钦天 ;

屠国强 ;

徐铭 ;

刘志鹏 ;

陆赛浩 ;

宋莹瑛 .

中国专利 :CN223414034U ,2025-10-03

[4]

一种晶圆凸出检测装置 [P].

方亮 ;

王吉奎 ;

翁林 .

中国专利 :CN216898796U ,2022-07-05

[5]

一种晶圆表面检测装置及其晶圆检测设备 [P].

吴坤 ;

黄勇新 .

中国专利 :CN221078509U ,2024-06-04

[6]

一种晶圆边缘检测装置及其晶圆检测设备 [P].

吴坤 ;

钟小江 .

中国专利 :CN221262342U ,2024-07-02

[7]

晶圆检测装置 [P].

刘永丰 .

中国专利 :CN204271041U ,2015-04-15

[8]

晶圆检测装置 [P].

常乐伟 ;

张伟 ;

李立 .

中国专利 :CN221282051U ,2024-07-05

[9]

晶圆检测装置 [P].

武一鸣 ;

古市昌稔 .

中国专利 :CN217133393U ,2022-08-05

[10]

晶圆检测设备 [P].

王伟 ;

张淑荣 .

中国专利 :CN212845981U ,2021-03-30

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