一种晶圆凸出检测装置

被引：0

申请号：

CN202220378744.7

申请日：

2022-02-24

公开(公告)号：

CN216898796U

公开(公告)日：

2022-07-05

发明(设计)人：

方亮王吉奎翁林

申请人：

申请人地址：

214000 江苏省无锡市新吴区景贤路52号乐东大厦内1层

IPC主分类号：

G01B1130

IPC分类号：

代理机构：

江苏智天知识产权代理有限公司 32550

代理人：

陈俊凤

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-07-05	授权	授权

共 50 条

[1]

一种晶圆集成检测装置 [P].

陈超 ;

张兴华 ;

唐德明 .

中国专利 :CN220542806U ,2024-02-27

[2]

一种晶圆边缘检测装置 [P].

朱琪 ;

鉏晨涛 ;

钱宝华 .

中国专利 :CN222994350U ,2025-06-17

[3]

一种晶圆状态检测装置 [P].

施钦天 ;

屠国强 ;

徐铭 ;

刘志鹏 ;

陆赛浩 ;

宋莹瑛 .

中国专利 :CN223414034U ,2025-10-03

[4]

一种晶圆红外检测装置 [P].

王云翔 .

中国专利 :CN205488044U ,2016-08-17

[5]

一种晶圆检测装置、晶圆装载装置和晶圆传输装置 [P].

叶莹 ;

张庆 ;

鲍伟成 ;

王文广 ;

祝佳辉 ;

梁烁 ;

王旭晨 ;

张冬峰 .

中国专利 :CN115527899A ,2022-12-27

[6]

晶圆中心检测装置 [P].

傅仁宏 ;

王孝伟 ;

王娴华 .

中国专利 :CN217507291U ,2022-09-27

[7]

一种晶圆表面检测装置及其晶圆检测设备 [P].

吴坤 ;

黄勇新 .

中国专利 :CN221078509U ,2024-06-04

[8]

一种晶圆边缘检测装置及其晶圆检测设备 [P].

吴坤 ;

钟小江 .

中国专利 :CN221262342U ,2024-07-02

[9]

一种晶圆检测装置 [P].

吴昊 ;

陆亚斌 ;

王成 .

中国专利 :CN223742344U ,2025-12-30

[10]

一种晶圆检测装置 [P].

林俊韩 ;

李伟 ;

尹影 ;

李婷 .

中国专利 :CN117741805A ,2024-03-22

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