晶圆状态检测方法及晶圆状态检测装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202311315975.9

申请日：

2023-10-11

公开(公告)号：

CN117537776A

公开(公告)日：

2024-02-09

发明(设计)人：

杨森元李宁宁邓博雅吕维迪赵佳强王晓尉王二朋于佳豪

申请人：

北京京仪自动化装备技术股份有限公司

申请人地址：

100176 北京市大兴区北京经济技术开发区凉水河二街8号院14楼A座

IPC主分类号：

G01C9/00

IPC分类号：

H01L21/66 H01L21/67 G01B11/00 G01B11/06

代理机构：

北京路浩知识产权代理有限公司 11002

代理人：

李梦晨

法律状态：

公开

国省代码：

安徽省宣城市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-02-09	公开	公开
2024-03-01	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G01C 9/00申请日:20231011

共 50 条

[1]

晶圆水平刷洗装置、晶圆检测机构及晶圆状态检测方法 [P].

曹佳丰 ;

马旭 ;

靳凯强 .

中国专利 :CN119314911A ,2025-01-14

[2]

晶圆盒内晶圆分布状态检测装置及检测方法 [P].

王金 ;

臧宇 ;

吴金马 .

中国专利 :CN115166848B ,2024-11-26

[3]

晶圆盒内晶圆放置状态检测方法以及晶圆状态检测系统 [P].

高旭 .

中国专利 :CN120015660A ,2025-05-16

[4]

晶圆状态检测方法、系统、存储介质及检测装置 [P].

张胜森 ;

鲍伟成 ;

薛增辉 ;

葛敬昌 ;

王文广 ;

叶莹 .

中国专利 :CN115083942B ,2022-09-20

[5]

晶圆状态在线识别检测方法、装置及系统 [P].

刘世昌 ;

邹风山 ;

李崇 ;

栾显晔 ;

陈晓超 ;

刘新 .

中国专利 :CN113053773A ,2021-06-29

[6]

一种晶圆状态检测方法及装置 [P].

李刚 ;

霍召军 ;

刘青松 .

中国专利 :CN119008439A ,2024-11-22

[7]

一种晶圆状态检测方法及装置 [P].

李刚 ;

霍召军 ;

刘青松 .

中国专利 :CN118049931A ,2024-05-17

[8]

一种晶圆状态检测装置 [P].

施钦天 ;

屠国强 ;

徐铭 ;

刘志鹏 ;

陆赛浩 ;

宋莹瑛 .

中国专利 :CN223414034U ,2025-10-03

[9]

晶圆盒内晶圆摆放状态的检测方法及检测系统 [P].

周毓婷 .

中国专利 :CN114740017A ,2022-07-12

[10]

晶圆的检测装置及晶圆的检测方法 [P].

苏旭文 ;

戎淇舰 ;

吕天爽 ;

蒙亮亮 .

中国专利 :CN120933184A ,2025-11-11

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