一种晶圆状态检测方法及装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202410879229.0

申请日：

2024-02-05

公开(公告)号：

CN119008439A

公开(公告)日：

2024-11-22

发明(设计)人：

李刚霍召军刘青松

申请人：

江苏亚电科技股份有限公司

申请人地址：

225500 江苏省泰州市姜堰区三水街道科技大道151号

IPC主分类号：

H01L21/66

IPC分类号：

H01L21/67

代理机构：

北京商专润文专利代理事务所(普通合伙) 11317

代理人：

陈平

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-12-10	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/66申请日:20240205
2024-11-22	公开	公开

共 50 条

[1]

一种晶圆状态检测方法及装置 [P].

李刚 ;

霍召军 ;

刘青松 .

中国专利 :CN118049931A ,2024-05-17

[2]

晶圆状态检测方法及晶圆状态检测装置 [P].

杨森元 ;

李宁宁 ;

邓博雅 ;

吕维迪 ;

赵佳强 ;

王晓尉 ;

王二朋 ;

于佳豪 .

中国专利 :CN117537776A ,2024-02-09

[3]

晶圆检测机构、检测方法及晶圆传输装置 [P].

何川 ;

薛增辉 ;

葛敬昌 ;

鲍伟成 ;

冯启异 ;

叶莹 .

中国专利 :CN117038495B ,2024-01-30

[4]

一种晶圆状态检测装置 [P].

施钦天 ;

屠国强 ;

徐铭 ;

刘志鹏 ;

陆赛浩 ;

宋莹瑛 .

中国专利 :CN223414034U ,2025-10-03

[5]

一种关于晶圆盒内晶圆摆放状态的检测方法及装置 [P].

陈胜华 ;

郝斌荣 ;

王寒松 ;

李志明 .

中国专利 :CN119268598B ,2025-03-21

[6]

一种关于晶圆盒内晶圆摆放状态的检测方法及装置 [P].

陈胜华 ;

郝斌荣 ;

王寒松 ;

李志明 .

中国专利 :CN119268598A ,2025-01-07

[7]

一种晶圆状态检测装置及其检测方法 [P].

耿晓杨 ;

戴金方 ;

周天游 .

中国专利 :CN112305631A ,2021-02-02

[8]

晶圆盒内晶圆分布状态检测装置及检测方法 [P].

王金 ;

臧宇 ;

吴金马 .

中国专利 :CN115166848B ,2024-11-26

[9]

晶圆水平刷洗装置、晶圆检测机构及晶圆状态检测方法 [P].

曹佳丰 ;

马旭 ;

靳凯强 .

中国专利 :CN119314911A ,2025-01-14

[10]

一种晶圆状态检测机构、检测方法和晶圆传输设备 [P].

王旭晨 ;

王文广 ;

冯启异 ;

叶莹 .

中国专利 :CN117174625B ,2024-02-06

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