一种关于晶圆盒内晶圆摆放状态的检测方法及装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411813937.0

申请日：

2024-12-11

公开(公告)号：

CN119268598B

公开(公告)日：

2025-03-21

发明(设计)人：

陈胜华郝斌荣王寒松李志明

申请人：

宁波润华全芯微电子设备有限公司

申请人地址：

315400 浙江省宁波市余姚市阳明街道兴福路118号

IPC主分类号：

G01B11/24

IPC分类号：

G01B11/06 G01B11/26 H01L21/67 H01L21/66

代理机构：

浙江中桓凯通专利代理有限公司 33376

代理人：

谢英

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

浙江省宁波市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-01-24	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G01B 11/24申请日:20241211
2025-03-21	授权	授权
2025-01-07	公开	公开

共 50 条

[1]

一种关于晶圆盒内晶圆摆放状态的检测方法及装置 [P].

陈胜华 ;

郝斌荣 ;

王寒松 ;

李志明 .

中国专利 :CN119268598A ,2025-01-07

[2]

晶圆盒内晶圆摆放状态的检测方法及检测系统 [P].

周毓婷 .

中国专利 :CN114740017A ,2022-07-12

[3]

晶圆盒内晶圆分布状态检测装置及检测方法 [P].

王金 ;

臧宇 ;

吴金马 .

中国专利 :CN115166848B ,2024-11-26

[4]

晶圆盒内晶圆放置状态检测方法以及晶圆状态检测系统 [P].

高旭 .

中国专利 :CN120015660A ,2025-05-16

[5]

晶圆状态检测方法及晶圆状态检测装置 [P].

杨森元 ;

李宁宁 ;

邓博雅 ;

吕维迪 ;

赵佳强 ;

王晓尉 ;

王二朋 ;

于佳豪 .

中国专利 :CN117537776A ,2024-02-09

[6]

一种晶圆盒内晶圆姿态检测方法及装置 [P].

陈光宇 ;

宋淑娟 .

中国专利 :CN119890079A ,2025-04-25

[7]

晶圆水平刷洗装置、晶圆检测机构及晶圆状态检测方法 [P].

曹佳丰 ;

马旭 ;

靳凯强 .

中国专利 :CN119314911A ,2025-01-14

[8]

晶圆的检测装置及晶圆的检测方法 [P].

苏旭文 ;

戎淇舰 ;

吕天爽 ;

蒙亮亮 .

中国专利 :CN120933184A ,2025-11-11

[9]

一种晶圆盒内部晶圆信息检测方法及系统 [P].

袁善旭 ;

崔波 ;

范震 .

中国专利 :CN120453198A ,2025-08-08

[10]

晶圆检测方法及晶圆检测装置 [P].

苏旭文 .

中国专利 :CN119601486A ,2025-03-11

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