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一种晶圆盒内晶圆姿态检测方法及装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202411898612.7
申请日：
2024-12-23
公开(公告)号：
CN119890079A
公开(公告)日：
2025-04-25
发明(设计)人：
陈光宇
宋淑娟
申请人：
无锡维度机器视觉产业技术研究院有限公司
申请人地址：
214000 江苏省无锡市锡山区经济技术开发区荟智企业中心锡沪东路588号4号楼
IPC主分类号：
H01L21/67
IPC分类号：
G01B11/00
G01B11/02
G01N21/84
G01D21/02
代理机构：
合肥和瑞知识产权代理事务所(普通合伙) 34118
代理人：
金宇平
法律状态：
公开
国省代码：
安徽省
宣城市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-04-25 | 公开 | 公开 |
| 2025-05-13 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/67申请日:20241223 |