一种晶圆状态检测机构、检测方法和晶圆传输设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202311448232.9

申请日：

2023-11-02

公开(公告)号：

CN117174625B

公开(公告)日：

2024-02-06

发明(设计)人：

王旭晨王文广冯启异叶莹

申请人：

浙江果纳半导体技术有限公司上海果纳半导体技术有限公司

申请人地址：

314000 浙江省嘉兴市海宁市海昌街道漕河泾路17号欣晖半导体产业园六号楼2楼005室

IPC主分类号：

H01L21/67

IPC分类号：

H01L21/677 G01D21/02

代理机构：

苏州汇诚汇智专利代理事务所(普通合伙) 32623

代理人：

张聪

法律状态：

授权

国省代码：

上海市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-02-06	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆状态检测方法及晶圆状态检测装置 [P].

杨森元 ;

李宁宁 ;

邓博雅 ;

吕维迪 ;

赵佳强 ;

王晓尉 ;

王二朋 ;

于佳豪 .

中国专利 :CN117537776A ,2024-02-09

[2]

晶圆检测机构、检测方法及晶圆传输装置 [P].

何川 ;

薛增辉 ;

葛敬昌 ;

鲍伟成 ;

冯启异 ;

叶莹 .

中国专利 :CN117038495B ,2024-01-30

[3]

晶圆水平刷洗装置、晶圆检测机构及晶圆状态检测方法 [P].

曹佳丰 ;

马旭 ;

靳凯强 .

中国专利 :CN119314911A ,2025-01-14

[4]

一种晶圆装载设备及晶圆状态检测方法 [P].

吴启东 .

中国专利 :CN115101432A ,2022-09-23

[5]

一种晶圆装载设备及晶圆状态检测方法 [P].

吴启东 .

中国专利 :CN115101432B ,2025-10-10

[6]

晶圆盒内晶圆放置状态检测方法以及晶圆状态检测系统 [P].

高旭 .

中国专利 :CN120015660A ,2025-05-16

[7]

晶圆的检测装置及晶圆的检测方法 [P].

苏旭文 ;

戎淇舰 ;

吕天爽 ;

蒙亮亮 .

中国专利 :CN120933184A ,2025-11-11

[8]

一种晶圆状态检测方法、可存储介质和晶圆传输装置 [P].

敖琪 ;

王旭晨 ;

王文广 ;

冯启异 ;

叶莹 .

中国专利 :CN117293048B ,2024-02-27

[9]

晶圆在位检测装置、晶圆托架以及晶圆在位检测方法 [P].

路新春 ;

沈攀 ;

王同庆 ;

何永勇 .

中国专利 :CN102931115A ,2013-02-13

[10]

晶圆在位检测装置、晶圆托架以及晶圆在位检测方法 [P].

沈攀 ;

路新春 .

中国专利 :CN107546145A ,2018-01-05

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