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一种腐蚀清洗机抛动行程机构
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202323435792.9
申请日：
2023-12-15
公开(公告)号：
CN221708667U
公开(公告)日：
2024-09-13
发明(设计)人：
管威
聂先合
王海龙
申请人：
苏州晶淼半导体设备有限公司
申请人地址：
215000 江苏省苏州市苏州工业园区展业路9号唯亭产业园北区4栋厂房一层（该地址不得从事零售）
IPC主分类号：
H01L21/67
IPC分类号：
代理机构：
北京天下创新知识产权代理事务所(普通合伙) 16044
代理人：
李伟
法律状态：
授权
国省代码：
江苏省
苏州市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-09-13 | 授权 | 授权 |