一种用于腐蚀前清洗机的硅片抛动装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201921776596.9

申请日：

2019-10-22

公开(公告)号：

CN211275823U

公开(公告)日：

2020-08-18

发明(设计)人：

韩云霄杨波胡晓亮

申请人：

申请人地址：

471000 河南省洛阳市高新技术产业开发区滨河北路99号

IPC主分类号：

B08B1300

IPC分类号：

B08B312 B08B308

代理机构：

洛阳公信知识产权事务所(普通合伙) 41120

代理人：

王海龙

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-08-18	授权	授权
2020-11-06	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):B08B 13/00 变更事项:专利权人变更前:麦斯克电子材料有限公司变更后:麦斯克电子材料股份有限公司变更事项:地址变更前:471000 河南省洛阳市高新技术产业开发区滨河北路99号变更后:471000 河南省洛阳市高新技术产业开发区滨河北路99号

共 50 条

[1]

腐蚀清洗机抛动行程机构 [P].

李勇刚 ;

周浩 ;

刘凯 ;

李宗颖 ;

冯国春 .

中国专利 :CN210006697U ,2020-01-31

[2]

一种硅片清洗机用抛动装置 [P].

薛佳勇 ;

王海军 ;

薛佳伟 .

中国专利 :CN212856920U ,2021-04-02

[3]

清洗机抛动装置 [P].

周艳明 ;

陈凯春 ;

李帮裕 .

中国专利 :CN205393087U ,2016-07-27

[4]

一种腐蚀清洗机抛动行程机构 [P].

管威 ;

聂先合 ;

王海龙 .

中国专利 :CN221708667U ,2024-09-13

[5]

一种清洗机抛动装置 [P].

凌宏亮 .

中国专利 :CN211071111U ,2020-07-24

[6]

硅片腐前清洗机用清洗框 [P].

刘振福 ;

翟洪升 ;

严政先 ;

甄红昌 ;

孙晨光 .

中国专利 :CN203610362U ,2014-05-28

[7]

一种硅片清洗机用硅片清洗结构 [P].

吴开泰 ;

王志红 .

中国专利 :CN222659501U ,2025-03-25

[8]

一种硅片清洗机用硅片清洗结构 [P].

程玉学 ;

杨雪梅 .

中国专利 :CN217165704U ,2022-08-12

[9]

抛动装置及清洗机 [P].

饶桥兵 ;

陈伟奇 ;

陈凡龙 .

中国专利 :CN207042937U ,2018-02-27

[10]

一种槽式硅片清洗机及其抛动架 [P].

梁宏健 ;

朱峰 ;

田欢 .

中国专利 :CN202962962U ,2013-06-05

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