前端输送装置以及半导体检测设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202323614905.1

申请日：

2023-12-28

公开(公告)号：

CN221632535U

公开(公告)日：

2024-08-30

发明(设计)人：

郝琪魏志国赵晨智赵丽莎白芷若

申请人：

东方晶源微电子科技（北京）股份有限公司

申请人地址：

100176 北京市大兴区北京经济技术开发区经海四路156号院12号楼

IPC主分类号：

H01L21/677

IPC分类号：

H01L21/673 H01L21/66 G01R1/04 G01R31/26

代理机构：

北京汇知杰知识产权代理有限公司 11587

代理人：

马天俊;张婷婷

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-08-30	授权	授权

共 50 条

[1]

照明装置以及半导体检测设备 [P].

李轩 ;

夏世伟 ;

杰夫·贝克 ;

杨立军 ;

孟庆栋 .

中国专利 :CN216900254U ,2022-07-05

[2]

半导体检测设备以及半导体检测方法 [P].

胡耿涛 ;

林生财 ;

吴贵阳 .

中国专利 :CN117538715A ,2024-02-09

[3]

滤波结构以及半导体检测设备 [P].

赵文斌 ;

朱常兴 ;

蒋健君 ;

白丽园 ;

王志康 .

中国专利 :CN221725850U ,2024-09-17

[4]

照明单元以及半导体检测设备 [P].

李轩 ;

夏世伟 ;

杰夫·贝克 ;

杨立军 ;

孟庆栋 .

中国专利 :CN216817136U ,2022-06-24

[5]

对准机构以及半导体检测设备 [P].

朱常兴 ;

李星辰 ;

蒋健君 ;

王志康 ;

齐孟宗 .

中国专利 :CN221928030U ,2024-10-29

[6]

手动风阀以及半导体检测设备 [P].

朱常兴 ;

赵文斌 ;

蒋健君 ;

王志康 ;

齐孟宗 .

中国专利 :CN221347940U ,2024-07-16

[7]

半导体检测设备 [P].

李海卫 ;

张鹏斌 ;

董坤玲 ;

金建高 ;

范铎 ;

陈鲁 .

中国专利 :CN214526667U ,2021-10-29

[8]

半导体检测设备装样工装及半导体检测设备 [P].

李毅 .

中国专利 :CN222338220U ,2025-01-10

[9]

用于半导体检测设备的机台及半导体检测设备 [P].

王庆涛 .

中国专利 :CN222774517U ,2025-04-18

[10]

半导体检测结构 [P].

廖育德 ;

蔡甦谷 .

中国专利 :CN205984977U ,2017-02-22

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