一种硅片表面清理装置

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN202323261215.2
申请日
2023-11-30
公开(公告)号
CN221335559U
公开(公告)日
2024-07-16
发明(设计)人
赵智亮 高开中 李德刚
申请人
苏州艺力鼎丰智能技术有限公司
申请人地址
215000 江苏省苏州市高新区前桥路169号
IPC主分类号
B08B1/12
IPC分类号
B08B13/00 B08B1/20 B08B1/34 B08B15/04
代理机构
苏州创智慧成知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32419
代理人
周波琴
法律状态
专利权人的姓名或者名称、国籍和地址的变更
国省代码
江苏省 常州市
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共 50 条
[1]
一种单晶硅片生产用表面清理装置 [P]. 
秦晓剑 ;
汪萍 ;
秦海良 .
中国专利 :CN221133331U ,2024-06-14
[2]
一种硅片自动清理装置 [P]. 
丁慧娟 ;
吴宇 ;
徐明靖 .
中国专利 :CN222358859U ,2025-01-17
[3]
一种硅片表面清洁装置 [P]. 
刘磊 ;
王小波 ;
郑强 .
中国专利 :CN216460370U ,2022-05-10
[4]
一种硅片表面处理装置 [P]. 
耿伟 ;
顾少俊 ;
张西东 ;
周航 .
中国专利 :CN218363748U ,2023-01-24
[5]
一种硅片表面清洗装置 [P]. 
陈锋 ;
沈国君 ;
陆勇 ;
刘太盛 .
中国专利 :CN214378342U ,2021-10-08
[6]
一种印刷前清理硅片装置 [P]. 
程亮 ;
刘鹏 ;
姜言森 ;
李玉花 ;
徐振华 ;
张春燕 ;
任现坤 ;
王兆光 ;
杨青天 .
中国专利 :CN201913884U ,2011-08-03
[7]
一种表面清理装置 [P]. 
周德华 ;
刘小磊 .
中国专利 :CN221956208U ,2024-11-05
[8]
一种硅片表面除液清理设备 [P]. 
叶建蓉 .
中国专利 :CN113634556A ,2021-11-12
[9]
一种硅片表面自动清洗装置 [P]. 
李国刚 .
中国专利 :CN206340527U ,2017-07-18
[10]
一种硅片表面研磨夹持装置 [P]. 
徐力 ;
王森 .
中国专利 :CN220613571U ,2024-03-19