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一种芯片异常检测装置及检测方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202410532561.X
申请日：
2024-04-30
公开(公告)号：
CN118136539B
公开(公告)日：
2024-07-12
发明(设计)人：
尚跃
陶灿
陶子木
申请人：
合肥聚跃检测技术有限公司
申请人地址：
230000 安徽省合肥市高新区创新大道2800号创新产业园二期G2楼A座1层
IPC主分类号：
H01L21/66
IPC分类号：
H01L21/67
H01L21/677
代理机构：
合肥正则元起专利代理事务所(普通合伙) 34160
代理人：
王玉
法律状态：
授权
国省代码：
江苏省
常州市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-07-12 | 授权 | 授权 |
| 2024-06-04 | 公开 | 公开 |
| 2024-06-21 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/66申请日:20240430 |