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真空贴膜装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202420021626.X
申请日：
2024-01-04
公开(公告)号：
CN221805437U
公开(公告)日：
2024-10-01
发明(设计)人：
吴明敏
吉红斌
陆嘉飞
李德权
申请人：
通富通科（南通）微电子有限公司
申请人地址：
226007 江苏省南通市通京大道226号11幢
IPC主分类号：
H01L21/50
IPC分类号：
H01L21/56
H01L21/67
代理机构：
上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294
代理人：
高德志
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-10-01 | 授权 | 授权 |