三维半导体传感器阵列芯片及其制造方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202410170332.8
申请日
2024-02-06
公开(公告)号
CN118501212A
公开(公告)日
2024-08-16
发明(设计)人
范智勇 王琛 周清峰
申请人
香港科技大学
申请人地址
中国香港九龙清水湾
IPC主分类号
G01N27/12
IPC分类号
B81B7/04 B81C1/00
代理机构
北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112
代理人
张娜;李荣胜
法律状态
实质审查的生效
国省代码
广东省 梅州市
引用
下载
收藏
共 50 条
[1]
三维半导体器件及其制造方法 [P]. 
金锡基 .
中国专利 :CN104241523A ,2014-12-24
[2]
半导体传感器及其制造方法 [P]. 
田中昌明 .
中国专利 :CN109562545A ,2019-04-02
[3]
半导体传感器及其制造方法 [P]. 
柴田佳彦 ;
井濑修史 .
中国专利 :CN1754270A ,2006-03-29
[4]
半导体传感器及其制造方法 [P]. 
安达佳孝 ;
井上胜之 .
中国专利 :CN101825506A ,2010-09-08
[5]
半导体传感器及其制造方法 [P]. 
花冈美咲 ;
秦久敏 .
日本专利 :CN117480365A ,2024-01-30
[6]
半导体传感器以及半导体传感器的制造方法 [P]. 
泷泽照夫 ;
近藤贵幸 ;
轰原正义 .
中国专利 :CN101493394A ,2009-07-29
[7]
半导体传感器装置及其制造方法 [P]. 
金野雄志 ;
菊地广 ;
宫岛健太郎 ;
出川宗里 .
中国专利 :CN108027293A ,2018-05-11
[8]
三维叠层半导体结构及其制造方法 [P]. 
赖二琨 ;
施彦豪 .
中国专利 :CN105789209B ,2016-07-20
[9]
半导体传感器及其制造方法、以及复合传感器 [P]. 
内藤孝二郎 ;
长尾和真 ;
村濑清一郎 .
中国专利 :CN109844530A ,2019-06-04
[10]
一种三维纳米气体传感器阵列及其制备方法 [P]. 
范智勇 ;
汤雯颖 .
中国专利 :CN118392957A ,2024-07-26