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一种用于静电吸盘的多孔氧化铝陶瓷涂层、制备方法及应用
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202410477878.8
申请日：
2024-04-19
公开(公告)号：
CN118063196B
公开(公告)日：
2024-07-19
发明(设计)人：
柴杰
王力潇
申请人：
成都超纯应用材料有限责任公司
申请人地址：
610000 四川省成都市双流区西航港空港二路1166号
IPC主分类号：
C04B35/10
IPC分类号：
C04B35/622
C04B38/00
H01L21/683
代理机构：
成都蓉创智汇知识产权代理有限公司 51276
代理人：
李朝虎
法律状态：
授权
国省代码：
四川省
成都市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-07-19 | 授权 | 授权 |
| 2024-05-24 | 公开 | 公开 |
| 2025-02-18 | 专利权人的姓名或者名称、国籍和地址的变更 | 专利权人的姓名或者名称、国籍和地址的变更IPC(主分类):C04B 35/10变更事项:专利权人变更前:成都超纯应用材料有限责任公司变更后:成都超纯应用材料股份有限公司变更事项:国家或地区变更前:中国变更后:中国变更事项:地址变更前:610000 四川省成都市双流区西航港空港二路1166号变更后:610000 四川省成都市双流区西航港空港二路1166号 |
| 2024-06-11 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):C04B 35/10申请日:20240419 |