一种真空静电吸盘的氧化铝陶瓷涂层、制备方法及应用

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202511240028.7

申请日：

2025-09-02

公开(公告)号：

CN120796984A

公开(公告)日：

2025-10-17

发明(设计)人：

王永东胡超卢永秀陈磊张高伟

申请人：

合肥升滕半导体技术有限公司

申请人地址：

230000 安徽省合肥市新站区新蚌埠路与谷河路交口佳海工业城G区33号

IPC主分类号：

C23C28/00

IPC分类号：

C23C4/04 C23C4/134 C23C26/00 H01L21/683 C09D171/02 C09D5/24 C09D7/61

代理机构：

合肥橙派知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 34219

代理人：

张世楚

法律状态：

授权

国省代码：

安徽省合肥市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-12-09	授权	授权
2025-11-04	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C23C 28/00申请日:20250902
2025-10-17	公开	公开

共 50 条

[1]

一种真空静电吸盘的氧化铝陶瓷涂层、制备方法及应用 [P].

王永东 ;

胡超 ;

卢永秀 ;

陈磊 ;

张高伟 .

中国专利 :CN120796984B ,2025-12-09

[2]

一种用于静电吸盘的多孔氧化铝陶瓷涂层、制备方法及应用 [P].

柴杰 ;

王力潇 .

中国专利 :CN118063196A ,2024-05-24

[3]

一种用于静电吸盘的多孔氧化铝陶瓷涂层、制备方法及应用 [P].

柴杰 ;

王力潇 .

中国专利 :CN118063196B ,2024-07-19

[4]

纳米氧化铝复合陶瓷涂层及其制备方法 [P].

汪灏 ;

程敬卿 .

中国专利 :CN102491639A ,2012-06-13

[5]

一种氧化铝陶瓷涂层及其制备方法 [P].

陈涛 .

中国专利 :CN109440051A ,2019-03-08

[6]

一种氧化铝静电吸盘及其制备方法和应用 [P].

边逸军 ;

姚力军 ;

黄洁文 ;

吴东青 ;

周友平 .

中国专利 :CN119993803A ,2025-05-13

[7]

氧化铝真空陶瓷吸盘及其制备方法 [P].

陈文彬 .

中国专利 :CN119306507A ,2025-01-14

[8]

一种静电吸盘用氧化铝陶瓷片模压成型制备方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

黄文杰 ;

周友平 ;

廖培君 .

中国专利 :CN118636265A ,2024-09-13

[9]

一种氧化铝粉体、氧化铝陶瓷及其制备方法 [P].

孟德安 .

中国专利 :CN112250424A ,2021-01-22

[10]

一种银掺杂的氧化铝陶瓷涂层及其制备方法 [P].

李恺 ;

谢有桃 ;

黄利平 ;

郑学斌 .

中国专利 :CN104388874A ,2015-03-04

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