一种用于真空溅射镀膜的异形曲面基片可调节工件架

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202410664942.3

申请日：

2024-05-27

公开(公告)号：

CN118422135A

公开(公告)日：

2024-08-02

发明(设计)人：

袁帅欧阳杰刘国利李国强

申请人：

湖南玉丰真空科学技术有限公司

申请人地址：

411100 湖南省湘潭市九华示范区大众东路2号

IPC主分类号：

C23C14/34

IPC分类号：

C23C14/50 C23C14/54

代理机构：

湖南正则奇美专利代理事务所(普通合伙) 43105

代理人：

杜梅香

法律状态：

公开

国省代码：

湖南省湘潭市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-08-02	公开	公开
2025-10-21	授权	授权
2024-08-20	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C23C 14/34申请日:20240527

共 50 条

[1]

一种用于真空溅射镀膜的异形曲面基片可调节工件架 [P].

袁帅 ;

欧阳杰 ;

刘国利 ;

李国强 .

中国专利 :CN118422135B ,2025-10-21

[2]

一种用于真空溅射镀膜的异形曲面基片工件架 [P].

袁帅 ;

欧阳杰 ;

刘国利 ;

李国强 .

中国专利 :CN118480765A ,2024-08-13

[3]

一种用于真空溅射镀膜的异形曲面基片工件架 [P].

袁帅 ;

欧阳杰 ;

刘国利 ;

李国强 .

中国专利 :CN118480765B ,2025-10-17

[4]

一种真空溅射镀膜基片的装夹装置 [P].

王新 ;

牛建国 .

中国专利 :CN205011833U ,2016-02-03

[5]

基片真空镀膜角度可调多级行星工件架机构 [P].

刘维龙 ;

王伟 ;

卢成 ;

杜涛 ;

徐昌林 .

中国专利 :CN117448771A ,2024-01-26

[6]

基片真空镀膜角度可调多级行星工件架机构 [P].

刘维龙 ;

王伟 ;

卢成 ;

杜涛 ;

徐昌林 .

中国专利 :CN117448771B ,2024-03-19

[7]

一种新型立式真空溅射基片架 [P].

张俊峰 ;

赵子东 ;

许春立 ;

张大剑 .

中国专利 :CN209260191U ,2019-08-16

[8]

一种溅射镀膜基片架 [P].

舒波 ;

洪滔 ;

程浩东 ;

包瑞 .

中国专利 :CN220788772U ,2024-04-16

[9]

一种大型曲面玻璃真空溅射镀膜装置 [P].

崔岸 ;

刘天赐 ;

黄显晴 ;

徐晓倩 ;

杨伟丽 ;

郝裕兴 ;

陈宠 .

中国专利 :CN210287144U ,2020-04-10

[10]

一种大型曲面玻璃真空溅射镀膜装置 [P].

崔岸 ;

刘天赐 ;

黄显晴 ;

徐晓倩 ;

杨伟丽 ;

郝裕兴 ;

陈宠 .

中国专利 :CN110128022B ,2024-02-20

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