一种微机电系统压力传感器和微机电系统压力换能器

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专利类型
发明
申请号
CN202410404721.2
申请日
2024-04-07
公开(公告)号
CN117990240B
公开(公告)日
2024-07-02
发明(设计)人
缪建民 张瑞珍 李绪民 王志宏
申请人
华景传感科技(无锡)有限公司
申请人地址
214135 江苏省无锡市新吴区菱湖大道200号中国传感网国际创新园F2
IPC主分类号
G01L1/14
IPC分类号
B81B7/02 B81B3/00
代理机构
北京品源专利代理有限公司 11332
代理人
郭德霞
法律状态
公开
国省代码
江苏省 无锡市
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共 50 条
[1]
一种微机电系统压力传感器和微机电系统压力换能器 [P]. 
缪建民 ;
张瑞珍 ;
李绪民 ;
王志宏 .
中国专利 :CN117990240A ,2024-05-07
[2]
微机电系统压力传感器 [P]. 
刘迪 ;
李刚 ;
胡维 .
中国专利 :CN212246207U ,2020-12-29
[3]
微机电系统压力传感器 [P]. 
伏广才 ;
张先明 ;
杨天伦 .
中国专利 :CN105300591A ,2016-02-03
[4]
微机电系统压力传感器及其制作方法、微机电系统 [P]. 
黎坡 .
中国专利 :CN103063351A ,2013-04-24
[5]
微机电系统压力传感器及其制作方法、微机电系统 [P]. 
黎坡 .
中国专利 :CN103063352A ,2013-04-24
[6]
微机电压力传感器 [P]. 
J·伯廷格 .
德国专利 :CN118443185A ,2024-08-06
[7]
微机电压力传感器 [P]. 
J·伯廷格 .
德国专利 :CN118706315A ,2024-09-27
[8]
微机电压力传感器 [P]. 
H·韦伯 ;
J·克拉森 ;
A·朔伊尔勒 ;
V·森兹 .
德国专利 :CN120322660A ,2025-07-15
[9]
微机电压力传感器 [P]. 
乔东海 ;
姚湲 ;
姜开利 ;
刘亮 .
中国专利 :CN101344447A ,2009-01-14
[10]
微机电系统压力传感器及其制造方法 [P]. 
刘迪 ;
李刚 ;
胡维 .
中国专利 :CN113620235A ,2021-11-09