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微机电系统压力传感器及其制作方法、微机电系统
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201210564075.3
申请日：
2012-12-21
公开(公告)号：
CN103063352A
公开(公告)日：
2013-04-24
发明(设计)人：
黎坡
申请人：
申请人地址：
201203 上海市浦东新区浦东张江高科技园区祖冲之路1399号
IPC主分类号：
G01L912
IPC分类号：
B81C100
B81B300
代理机构：
北京集佳知识产权代理有限公司 11227
代理人：
骆苏华
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2015-11-25 | 授权 | 授权 |
| 2014-07-30 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101584057978 IPC(主分类):G01L 9/12 专利申请号:2012105640753 申请日:20121221 |
| 2013-04-24 | 公开 | 公开 |
| 2014-04-30 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利申请权的转移 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101700517890 IPC(主分类):G01L 9/12 专利申请号:2012105640753 变更事项:申请人 变更前权利人:上海宏力半导体制造有限公司 变更后权利人:上海华虹宏力半导体制造有限公司 变更事项:地址 变更前权利人:201203 上海市浦东新区浦东张江高科技园区祖冲之路1399号 变更后权利人:201203 上海市浦东新区张江高科技园区祖冲之路1399号 登记生效日:20140408 |