光纤微机电系统压力传感器及其制作方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200410064904.7

申请日：

2004-10-11

公开(公告)号：

CN1614371A

公开(公告)日：

2005-05-11

发明(设计)人：

王鸣李明戎华王婷婷

申请人：

申请人地址：

210097江苏省南京市宁海路122号

IPC主分类号：

G01L124

IPC分类号：

G01B1116

代理机构：

南京知识律师事务所

代理人：

王东升

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2006-10-18	授权	授权
2008-12-10	专利权的终止(未缴年费专利权终止)	专利权的终止(未缴年费专利权终止)
2005-05-11	公开	公开
2005-07-13	实质审查的生效	实质审查的生效

共 50 条

[1]

微机电系统压力传感器及其制作方法 [P].

刘蓓 .

中国专利 :CN101450786B ,2009-06-10

[2]

微机电系统压力传感器及其制作方法、微机电系统 [P].

黎坡 .

中国专利 :CN103063351A ,2013-04-24

[3]

微机电系统压力传感器及其制作方法、微机电系统 [P].

黎坡 .

中国专利 :CN103063352A ,2013-04-24

[4]

光纤微机电系统压力传感器封装结构 [P].

王鸣 ;

李明 ;

戎华 ;

王婷婷 .

中国专利 :CN2811965Y ,2006-08-30

[5]

微机电系统压力传感器的制作方法 [P].

黎坡 .

中国专利 :CN102539033A ,2012-07-04

[6]

压力传感器及其制作方法 [P].

陈敏 ;

马清杰 .

中国专利 :CN103616123A ,2014-03-05

[7]

一种光纤微机电系统压力传感器封装结构 [P].

窦云轩 .

中国专利 :CN212871560U ,2021-04-02

[8]

微机电系统压力传感器 [P].

刘迪 ;

李刚 ;

胡维 .

中国专利 :CN212246207U ,2020-12-29

[9]

微机电系统压力传感器 [P].

伏广才 ;

张先明 ;

杨天伦 .

中国专利 :CN105300591A ,2016-02-03

[10]

MEMS光纤微弯压力传感器及其制备方法 [P].

贾平岗 ;

房国成 ;

熊继军 ;

梁庭 ;

谭秋林 ;

洪应平 ;

陈晓勇 ;

薛晨阳 ;

刘俊 ;

张文栋 .

中国专利 :CN105606276A ,2016-05-25

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