MEMS光纤微弯压力传感器及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510983917.2

申请日：

2015-12-24

公开(公告)号：

CN105606276A

公开(公告)日：

2016-05-25

发明(设计)人：

贾平岗房国成熊继军梁庭谭秋林洪应平陈晓勇薛晨阳刘俊张文栋

申请人：

申请人地址：

030051 山西省太原市尖草坪区学院路3号

IPC主分类号：

G01L124

IPC分类号：

代理机构：

太原科卫专利事务所(普通合伙) 14100

代理人：

朱源

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-06-22	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101666694013 IPC(主分类):G01L 1/24 专利申请号:2015109839172 申请日:20151224
2016-05-25	公开	公开
2021-11-09	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):G01L 1/24 登记生效日:20211028 变更事项:专利权人变更前权利人:中北大学变更后权利人:重庆冠雁科技有限公司变更事项:地址变更前权利人:030051 山西省太原市尖草坪区学院路3号变更后权利人:400084 重庆市大渡口区春晖南路1号4-17
2018-06-12	授权	授权

共 50 条

[1]

一种基于光纤微弯损耗的压力传感器 [P].

杜兵 ;

杜蔚 ;

杜迎涛 .

中国专利 :CN102147303A ,2011-08-10

[2]

MEMS压力传感器及其制备方法 [P].

桑新文 .

中国专利 :CN111664972A ,2020-09-15

[3]

MEMS压力传感器及其制备方法 [P].

曹阳 ;

张裕华 ;

余雅俊 ;

刘建哲 ;

徐良 .

中国专利 :CN119043537B ,2025-06-27

[4]

MEMS压力传感器及其制备方法 [P].

曹阳 ;

张裕华 ;

余雅俊 ;

刘建哲 ;

徐良 .

中国专利 :CN119043537A ,2024-11-29

[5]

光纤微机电系统压力传感器及其制作方法 [P].

王鸣 ;

李明 ;

戎华 ;

王婷婷 .

中国专利 :CN1614371A ,2005-05-11

[6]

MEMS压力传感器制造方法及MEMS压力传感器 [P].

朱恩成 ;

陈磊 ;

张强 ;

闫文明 .

中国专利 :CN113432777A ,2021-09-24

[7]

光纤微弯传感器 [P].

骆飞 .

中国专利 :CN1156819A ,1997-08-13

[8]

压力传感器及其制备方法 [P].

刘云鹏 ;

孙剑文 ;

刘煦 .

中国专利 :CN119374764A ,2025-01-28

[9]

压力传感器及其制备方法 [P].

胡友根 ;

赵涛 ;

朱朋莉 ;

张愿 ;

朱玉 ;

梁先文 ;

孙蓉 .

中国专利 :CN106768520B ,2017-05-31

[10]

MEMS压力传感器及其制备方法 [P].

余雅俊 ;

张裕华 ;

曹阳 ;

刘建哲 ;

徐良 .

中国专利 :CN120333661A ,2025-07-18

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