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可调型微机电系统探针卡及其装配方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202011122775.8
申请日：
2020-10-20
公开(公告)号：
CN113049934B
公开(公告)日：
2024-10-15
发明(设计)人：
金雄谦
任昌民
申请人：
SDA有限公司
申请人地址：
韩国京畿道
IPC主分类号：
G01R31/26
IPC分类号：
B81C1/00
B81B7/02
代理机构：
北京弘权知识产权代理有限公司 11363
代理人：
郭放;许伟群
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-10-15 | 授权 | 授权 |