用于处理衬底的装置和方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202410100715.8

申请日：

2024-01-24

公开(公告)号：

CN118553588A

公开(公告)日：

2024-08-27

发明(设计)人：

金东勋林铉民尹和一

申请人：

细美事有限公司

申请人地址：

韩国忠清南道

IPC主分类号：

H01J37/32

IPC分类号：

H01L21/67 H05F3/02 H05F3/00

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司 11021

代理人：

孙尚白;张霞

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-08-27	公开	公开
2025-11-28	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H01J 37/32申请日:20240124

共 50 条

[1]

基板处理装置和方法 [P].

具滋明 ;

南信祐 ;

安宗焕 ;

罗世源 ;

李俊虎 ;

具重谟 .

中国专利 :CN107665805A ,2018-02-06

[2]

处理衬底的装置和方法 [P].

姜仁熙 .

韩国专利 :CN120236976A ,2025-07-01

[3]

用于处理衬底的处理装置和方法 [P].

乌里·霍夫曼 ;

卓斯·曼纽尔·迪格茨-加波 .

中国专利 :CN101431004A ,2009-05-13

[4]

衬底处理装置和使用该衬底处理装置处理衬底的方法 [P].

朴相真 ;

朴智焕 ;

李根泽 .

韩国专利 :CN118073226A ,2024-05-24

[5]

衬底处理装置和器件的制造方法 [P].

丰田一行 ;

岛信人 ;

石丸信雄 ;

金野义和 ;

竹林基成 ;

野田孝晓 ;

水野谦和 .

中国专利 :CN100477105C ,2006-04-19

[6]

天线单元和包括天线单元的衬底处理装置 [P].

金大炫 ;

柳竞桓 .

韩国专利 :CN119230370A ,2024-12-31

[7]

衬底处理装置和方法 [P].

梁日光 .

中国专利 :CN101952940B ,2011-01-19

[8]

衬底处理装置和方法 [P].

V·基尔皮 .

中国专利 :CN113106419A ,2021-07-13

[9]

用于处理衬底的装置和方法 [P].

金大民 ;

李瑟 ;

李福圭 ;

李载明 .

中国专利 :CN106206373A ,2016-12-07

[10]

传送单元、用于处理衬底的装置和用于处理衬底的方法 [P].

李炫浩 ;

赵明赞 .

中国专利 :CN106558521A ,2017-04-05

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