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抗蚀剂组合物及图案形成方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202311450046.9
申请日：
2023-11-02
公开(公告)号：
CN117631445B
公开(公告)日：
2024-07-26
发明(设计)人：
张斌
栾力冰
关琬婷
申请人：
湖北鼎龙芯盛科技有限公司
鼎龙（潜江）新材料有限公司
湖北鼎龙控股股份有限公司
申请人地址：
430057 湖北省武汉市武汉经济技术开发区54MB地块（东荆河路1号）办公室507室
IPC主分类号：
G03F7/004
IPC分类号：
代理机构：
代理人：
法律状态：
公开
国省代码：
安徽省
宣城市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-03-01 | 公开 | 公开 |
| 2024-07-26 | 授权 | 授权 |
| 2024-03-19 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/004申请日:20231102 |
| 2024-07-19 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利申请权的转移IPC(主分类):G03F 7/004登记生效日:20240703变更事项:申请人变更前权利人:张斌变更后权利人:湖北鼎龙芯盛科技有限公司变更事项:国家或地区变更前权利人:中国变更后权利人:中国变更事项:地址变更前权利人:100061 北京市东城区夕照寺街道3-2-1802变更后权利人:湖北省武汉市武汉经济技术开发区54MB地块（东荆河路1号）办公室507室变更事项:申请人变更前权利人:栾力冰 关琬婷变更后权利人:鼎龙（潜江）新材料有限公司 湖北鼎龙控股股份有限公司变更事项:国家或地区变更前权利人:中国 中国变更后权利人:中国 中国 |