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硅光器件及其制造方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202211648381.5
申请日：
2022-12-21
公开(公告)号：
CN118226578A
公开(公告)日：
2024-06-21
发明(设计)人：
罗园
左青云
卢意飞
申请人：
上海集成电路研发中心有限公司
张江国家实验室
申请人地址：
201210 上海市浦东新区张江高科技园区高斯路497号
IPC主分类号：
G02B6/12
IPC分类号：
G02B6/13
G02B6/132
代理机构：
上海恒锐佳知识产权代理事务所(普通合伙) 31286
代理人：
黄海霞
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
上海市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-07-09 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):G02B 6/12申请日:20221221 |
| 2024-06-21 | 公开 | 公开 |